Образование “малоразмерных” летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса Full article
Journal |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2013, Volume: 49, Number: 8, Pages: 833-838 Pages count : 6 DOI: 10.7868/S0002337X13080010 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Funding (1)
1 | Russian Foundation for Basic Research | 12-03-01018 |
Abstract:
Методами ЭПР-, РФЭ- и ИК-спектроскопии исследованы стабильные продукты гетерогенного синтеза в процессах совмещенного синтеза-переноса при осаждении тонких пленок меди. Обнаружено, что синтезированные летучие соединения, конденсированные на твердых поверхностях, представляют собой формиатоподобные металлокомплексы меди (I). Определены механизмы образования мономерных летучих металлокомплексов на поверхностях дисперсного медьсодержащего прекурсора и механизм термического разложения металлокомплексов на нагретой подложке.
Cite:
Бадалян А.
, Поляков М.
, Каичев В.В.
, Надолинный В.
, Игуменов И.
Образование “малоразмерных” летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №8. С.833-838. DOI: 10.7868/S0002337X13080010 РИНЦ
Образование “малоразмерных” летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №8. С.833-838. DOI: 10.7868/S0002337X13080010 РИНЦ
Translated:
Badalyan A.M.
, Polyakov M.S.
, Kaichev V.V.
, NadolinnyI V.A.
, Igumenov I.K.
Formation of Small Volatile Complexes During Copper Film Growth by the Combined Synthesis-Transport Method
Inorganic Materials. 2013. V.49. N8. P.775-780. DOI: 10.1134/S0020168513080013 WOS Scopus РИНЦ
Formation of Small Volatile Complexes During Copper Film Growth by the Combined Synthesis-Transport Method
Inorganic Materials. 2013. V.49. N8. P.775-780. DOI: 10.1134/S0020168513080013 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Jul 12, 2012 |
Identifiers:
Elibrary | 19051188 |
OpenAlex | W2331310201 |
Citing:
Пока нет цитирований