Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния Научная публикация
Журнал |
Исследовано в России
ISSN: 1819-4192 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2004, Том: 7, Страницы: 1607-1615 Страниц : 9 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (2)
1 | Сибирское отделение Российской академии наук | 114 |
2 | Российский фонд фундаментальных исследований | 03-03-32080 |
Реферат:
С использованием комплекса современных аналитических методов (ИК-, УФ-, РФЭ- и ХANES - спектроскопия, эллипсометрия и др.) исследованы химический состав и свойства пленок карбонитрида кремния. Пленки синтезированы плазмохимическим методом из силильных производных несимметричного диметилгидразина, характеризующихся различным содержанием атомов азота в молекуле, а именно 1,1-диметил-2(диметилсилил)гидразина - (CH3)2HSiNHN(CH3)2 (ДМДМСГ) и бис(диметилгидразино)диметилсилан - Me2Si(NHNMe2)2 (бис-ДМГДМС). Установлено, что в пленках, синтезированных из ДМДМСГ, присутствуют связи Si-С, Si-N и N-C. Пленки, полученные из бис-ДМГДМС, содержат преимущественно связи Si-N и N-C. Материал пленок представляет собой не смесь отдельных фаз, а индивидуальные сложные соединения. Свойства материала целенаправленно изменяются в зависимости от условий синтеза. Результаты исследования оптических и электрофизических характеристик пленок позволяют сделать вывод, что пленки перспективны для применения в электронных устройствах в качестве защитных и пассивирующих слоев.
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Рахлин В.И.
, Воронков М.Г.
, Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004. Т.7. С.1607-1615. РИНЦ
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004. Т.7. С.1607-1615. РИНЦ
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 21294435 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 1 |