Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии Научная публикация
Журнал |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2008, Том: 44, Номер: 9, Страницы: 1086-1092 Страниц : 7 | ||||||||
Авторы |
|
||||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (3)
1 | Совет по грантам Президента Российской Федерации | НШ-636.2008.3 |
2 | Сибирское отделение Российской академии наук | 97 |
3 | Российский фонд фундаментальных исследований | 05-03-32393 |
Реферат:
Методами эллипсометрии, электронной микроскопии и РФЭС показано, что в процессе синтеза пленок HfO2 на кремнии протекает реакция взаимодействия слоя собственного оксида кремния с осаждаемым слоем HfO2 c образованием аморфного промежуточного слоя. Показатель преломления этого слоя равен 1.6 и отличается от показателя преломления слоя HfO2 (1.9-2.0) и SiO2 (1.46). Проведено термодинамическое рассмотрение системы Si SiO2 HfO2 Hf, из которого следует, что только при небольших давлениях кислорода равновесной является композиция Si/HfO2-у. С увеличением давления кислорода (эквивалентно появлению слоя собственного оксида) равновесной становится композиция Si/HfSiO4/HfO2-у.
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Яковкина Л.В.
, Косяков В.И.
, Белошапкин С.А.
, Кузнецов Ф.А.
, Лебедев М.С.
, Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008. Т.44. №9. С.1086-1092. РИНЦ
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008. Т.44. №9. С.1086-1092. РИНЦ
Переводная версия:
Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Yakovkina L.V.
, Kosyakov V.I.
, Beloshapkin S.A.
, Kuznetsov F.A.
, Lebedev M.S.
, Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008. V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124 WOS Scopus РИНЦ
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008. V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 11 окт. 2006 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 11035814 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 8 |