Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ Научная публикация
Журнал |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2010, Номер: 2, Страницы: 60-65 Страниц : 6 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (2)
1 | Российский фонд фундаментальных исследований | 06-03-32662 |
2 | Российский фонд фундаментальных исследований | 07-02-00391 |
Реферат:
Методами EXAFS-спектроскопии и атомно-силовой микроскопии изучались локальная атомная структура и морфология поверхности тонких полупроводниковых пленок Ge. Пленки были получены методом термического испарения материала в сверхвысоком вакууме при различных температурах подложки. Показано, что пленки состоят из аморфной и нанокристаллической фаз. Процентное содержание фаз зависит от температуры конденсации пленок. Зависимость размеров зерен от температуры конденсации при T = 100°С не соответствует классическому линейному закону.
Библиографическая ссылка:
Валеев Р.Г.
, Деев А.Н.
, Сурнин Д.В.
, Кривенцов В.В.
, Карбан О.В.
, Ветошкин В.М.
, Пивоварова О.И.
Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. №2. С.60-65. РИНЦ
Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. №2. С.60-65. РИНЦ
Переводная:
Valeev R.G.
, Deev A.N.
, Surnin D.V.
, Kriventsov V.V.
, Karban O.V.
, Vetoshkin V.M.
, Pivovarova O.I.
Study of Thin Ge Films with Amorphous and Nanocrystalline Phases via the Techniques of EXAFS Spectroscopy and AFM
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2010. V.4. N1. P.136-141. DOI: 10.1134/S1027451010010209 WOS Scopus РИНЦ
Study of Thin Ge Films with Amorphous and Nanocrystalline Phases via the Techniques of EXAFS Spectroscopy and AFM
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2010. V.4. N1. P.136-141. DOI: 10.1134/S1027451010010209 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 14 июл. 2009 г. |
Опубликована в печати: | 1 февр. 2010 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 13044792 |
Chemical Abstracts | 2010:505543 |
Chemical Abstracts (print) | 153:419824 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 1 |