Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена Научная публикация
Журнал |
Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2016, Том: 42, Номер: 5, Страницы: 65-73 Страниц : 8 | ||||||
Ключевые слова | ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ, ТРИС(ДИЭТИЛАМИ-НО)СИЛАН, ФЕРРОЦЕН, ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИЗ ГАЗОВОИ ФАЗЫ ПРИ ПОНИЖЕННОМ ДАВЛЕНИИ, НАНОКОМПОЗИТНЫЕ ПЛЕНКИ | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Реферат:
Проведено термодинамическое моделирование осаждения конденси-рованных фаз сложного состава в системе Si—C—N—Fe—H—(He) в температурной области 500—1300 K при общем давлении в системе
10(-2)—10( -1) Торр и при использовании исходной газовой смеси трис(диэтиламино)силана HSi[N(C2H5)2]3, ферроцена (C5H5)2Fe и гелия. С использованием результатов термодинамического моделирования разработан метод получения пленок SiCxNyFez с помощью высокотемпературного разложения газовой смеси ТДЭАС, ферроцена и гелия при пониженном давлении в температурном интервале 1073—1273 K. Установлена зависимость химического и фазового состава пленок от условий синтеза с помощью различных методов химического анализа, таких как: ИК-спектроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния света, растровая электронная микроскопия, энергодисперсионная спектроскопия, рентгенофазовый анализ с использованием синхротронного излучения, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС). Методами Фа-радея и электронного парамагнитного резонанса исследованы магнитные свойства пленок. Показано, что при температуре синтеза 1123 K пленки являются парамагнитными, а при температуре осаждения 1273 K — ферромагнитными. Методом наноиндентирования охарактеризованы механические свойства пленок.
Библиографическая ссылка:
Пушкарев Р.В.
, Файнер Н.И.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Надолинный В.А.
, Максимовский Е.А.
, Коротаев Е.В.
, Каичев В.В.
Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Физика и химия стекла. 2016. Т.42. №5. С.65-73. РИНЦ
Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Физика и химия стекла. 2016. Т.42. №5. С.65-73. РИНЦ
Переводная версия:
Pushkarev R.V.
, Fainer N.I.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Nadolinnyi V.A.
, Maksimovskii E.A.
, Korotaev E.V.
, Kaichev V.V.
Synthesis of Si–C–N–Fe Films from Volatile Organosilicon Substances-Precursors and Ferrocene. Part II. Properties of SiCxNyFez Films Obtained by Thermal Decomposition of Tris(Diethylamino)Silane and Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2016. V.42. N5. P.490-496. DOI: 10.1134/S1087659616050126 WOS Scopus РИНЦ
Synthesis of Si–C–N–Fe Films from Volatile Organosilicon Substances-Precursors and Ferrocene. Part II. Properties of SiCxNyFez Films Obtained by Thermal Decomposition of Tris(Diethylamino)Silane and Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2016. V.42. N5. P.490-496. DOI: 10.1134/S1087659616050126 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 22 дек. 2015 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 28795462 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 2 |