Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si Научная публикация
Журнал |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||
---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2014, Том: 50, Номер: 2, Страницы: 175-182 Страниц : 8 DOI: 10.7868/S0002337X1402016X | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Информация о финансировании (1)
1 | Российский фонд фундаментальных исследований | 12-03-00131 |
Реферат:
Методами рентгеновской дифракции, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, энергодисперсионного анализа (ЭДС) и атомно-силовой микроскопии проведено исследование химического строения, фазового состава и структуры пленок LaxHf1–xOy/Si, синтезированных из металлорганических летучих соединений Hf и La. Вариация температуры источников исходных веществ позволила синтезировать пленки с 2 < СLa < 30 ат. %. Положение пиков Hf4f и La3d в РФЭС соответствует гафнию и лантану в состояниях Hf4+ и La3+. Увеличение СLa в пленке приводит к сдвигу рефлексов на дифрактограмме в направлении меньших углов 2θ, что указывает на образование твердых растворов. Установлено, что при СLa = 18 ат. % наблюдается переход флюоритоподобной структуры пленок в структуру пирохлора (La2Hf2O7). При СLa = 30 ат. % пленки представляют смесь фаз C-La2O3 и La2Hf2O7. Шероховатость пленок возрастает с увеличением концентрации La. Из вольт-фарадных (C–V) характеристик получена зависимость диэлектрической проницаемости (k) от CLa. Минимальное значение k наблюдается при СLa, соответствующей переходу структуры флюорита к упорядоченной структуре пирохлора (фазовый переход второго рода).
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X РИНЦ
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X РИНЦ
Переводная версия:
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014. V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162 WOS Scopus РИНЦ
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014. V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 21 авг. 2013 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 20991749 |
OpenAlex | W2320972519 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований