Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов Научная публикация
Журнал |
Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2011, Том: 81, Номер: 9, Страницы: 113-118 Страниц : 6 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Реферат:
Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu0) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
Библиографическая ссылка:
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011. Т.81. №9. С.113-118. РИНЦ
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011. Т.81. №9. С.113-118. РИНЦ
Переводная:
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011. V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039 WOS Scopus РИНЦ
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011. V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 29 нояб. 2010 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 20325229 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований