Synthesis of Si–C–N–Fe Layers from Volatile Organosilicon Precursors and Ferrocene. Part I. Synthesis, Chemical and Phase Composition of IronContaining Layers Prepared by Thermal Decomposition of Ferrocene Научная публикация
Журнал |
Glass Physics and Chemistry
ISSN: 1087-6596 , E-ISSN: 1608-313X |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2015, Том: 41, Номер: 6, Страницы: 630-636 Страниц : 7 DOI: 10.1134/S1087659615060048 | ||||||
Ключевые слова | chemical deposition of films from gas phase under reduced pressure, ferrocene, iron silicide, thermodynamic modeling | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (1)
1 | Министерство образования и науки Российской Федерации |
Реферат:
Thermodynamic modeling of system Fe–C–H–He at total pressure = 10–2–10 Torr in the temperature range of 300–1300 K has been carried out to determine the conditions in which the ironcontaining layers can be synthesized from a gaseous mixture of ferrocene (C5H5)2Fe and helium He. Using the results of thermodynamic modeling we have developed a process for the deposition of ironcontaining layers during hightemperature decomposition of the initial gas mixture (C5H5)2Fe + He in the temperature range of 1073–1273 K. The synthesized ironcontaining layers have been characterized using the following methods: Raman spectroscopy, FTIR spectroscopy, energydispersive spectroscopy, Xray photoelectron spectroscopy, Xray diffraction with synchrotron radiation, as well as scanning electron and atomic force microscopy. It has been found that using silicon substrate Si(100), phases of iron silicide and carbon nanotubes are formed in the ironcontaining layers, and when using substrates of fused silica—a mixture of iron carbide, iron sili
cide, and carbon nanotubes. Films consisting of iron carbide and carbon materials are deposited on sapphire
substrates.
Библиографическая ссылка:
Fainer N.I.
, Pushkarev R.V.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Maksimovskii E.A.
, Kaichev V.V.
Synthesis of Si–C–N–Fe Layers from Volatile Organosilicon Precursors and Ferrocene. Part I. Synthesis, Chemical and Phase Composition of IronContaining Layers Prepared by Thermal Decomposition of Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2015. V.41. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S1087659615060048 WOS Scopus РИНЦ
Synthesis of Si–C–N–Fe Layers from Volatile Organosilicon Precursors and Ferrocene. Part I. Synthesis, Chemical and Phase Composition of IronContaining Layers Prepared by Thermal Decomposition of Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2015. V.41. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S1087659615060048 WOS Scopus РИНЦ
Оригинальная:
Файнер Н.И.
, Пушкарев Р.В.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Каичев В.В.
Синтез слоев Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть I. Синтез, химический и фазовый состав железосодержащих слоев, полученных термическим разложением ферроцена
Физика и химия стекла. 2015. Т.41. №6. С.851-860. РИНЦ
Синтез слоев Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть I. Синтез, химический и фазовый состав железосодержащих слоев, полученных термическим разложением ферроцена
Физика и химия стекла. 2015. Т.41. №6. С.851-860. РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 16 дек. 2014 г. |
Опубликована в печати: | 1 нояб. 2015 г. |
Опубликована online: | 6 дек. 2015 г. |
Идентификаторы БД:
Web of science | WOS:000365805000011 |
Scopus | 2-s2.0-84948988390 |
РИНЦ | 26772279 |
Chemical Abstracts | 2015:1962810 |
OpenAlex | W2186919141 |