Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Игуменов Игорь Константинович

Внешние ссылки

РИНЦ ID: 14975
Scopus ID: 7004075495

Аффилиации

# Название Период Количество
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН 04zpmt351 1992 - 2020 20

Научная деятельность

Статьи в журналах - 17 , Книги - 1 , Доклады на конференциях - 2

Статьи в журналах (17) Подробнее

1 Vasilyeva I.G. , Vikulova E.S. , Morozova N.B. , Pochtar A.A. , Igumenov I.K.
Invisible Surface Oxygen Vacancies in a Thin MgO Film: Impacts on the Chemical Activity and Secondary Electron Emission
Inorganic Chemistry. 2020. V.59. N24. P.17999-18009. DOI: 10.1021/acs.inorgchem.0c02351 WOS Scopus РИНЦ
2 Polyakov M.S. , Badalyan A.M. , Kaichev V.V. , Igumenov I.K.
Thermal- and Plasma-Enhanced Copper Film Deposition via a Combined Synthesis-Transport CVD Technique
Chemical Vapor Deposition. 2014. V.20. N4-6. P.170-176. DOI: 10.1002/cvde.201307078 WOS Scopus РИНЦ
3 Polyakov M.S. , Badalyan A.M. , Kaichev V.V. , Igumenov I.K.
A Novel Plasma-Chemical Process of Metallic Layer Deposition from Small-Size Volatile Metal Complexes
Advanced Materials Research. 2014. V.875-877. P.246-250. DOI: 10.4028/www.scientific.net/AMR.875-877.246 WOS Scopus РИНЦ
4 Badalyan A.M. , Polyakov M.S. , Kaichev V.V. , NadolinnyI V.A. , Igumenov I.K.
Formation of Small Volatile Complexes During Copper Film Growth by the Combined Synthesis-Transport Method
Inorganic Materials. 2013. V.49. N8. P.775-780. DOI: 10.1134/S0020168513080013 WOS Scopus РИНЦ
5 Dorovskikh S.I. , Trubin S.V. , Filatov E.S. , Kriventsov V.V. , Kozlova S.G. , Shubin Y.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K.
Deposition of Ni Thin Films from Ni(II) β-Diketonates Derivatives with 1,3-Diaminopropane
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2013. V.74. N9. P.1204-1211. DOI: 10.1016/j.jpcs.2013.03.018 WOS Scopus РИНЦ
6 Бадалян А. , Поляков М. , Каичев В.В. , Надолинный В. , Игуменов И.
Образование “малоразмерных” летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №8. С.833-838. DOI: 10.7868/S0002337X13080010 РИНЦ
7 Parkhomenko R.G. , Morozova N.B. , Zharkova G.I. , Shubin Y.V. , Trubin S.V. , Kriventsov V.V. , Kuchumov B.M. , Koretskaya T.P. , Igumenov I.K.
Deposition of Au Thin Films and Nanoparticles by MOCVD
Chemical Vapor Deposition. 2012. V.18. N10-12. P.336-342. DOI: 10.1002/cvde.201207004 WOS Scopus РИНЦ
8 Gelʹfond N.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K. , Filatov E.S. , Gromilov S.A. , Shubin Y.V. , Kvon R.I. , Danilovich V.S.
Structure of Ir and Ir-Al2o3 Coatings Obtained by Chemical Vapor Deposition in the Presence of Oxygen
Journal of Structural Chemistry. 2010. V.51. N1. P.82-91. DOI: 10.1007/s10947-010-0012-4 WOS Scopus РИНЦ
9 Гельфонд Н.В. , Морозова Н.Б. , Игуменов И.К. , Филатов Е.С. , Громилов С.А. , Шубин Ю.В. , Квон Р.И. , Данилович В.С.
Структура Ir и Ir-Al2O3 покрытий, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в присутствии кислорода
Журнал структурной химии. 2010. Т.51. №1. С.88-97. RSCI РИНЦ
10 Гельфонд Н.В. , Морозова Н.Б. , Игуменов И.К. , Филатов Е.С. , Громилов С.А. , Квон Р.И.
Структура покрытий Ir—Al2O3, полученных методом химического осаждения из паровой фазы в атмосфере водорода
Журнал структурной химии. 2009. Т.50. №5. С.955-959. RSCI РИНЦ
11 Gelfond N.V. , Morozova N.B. , Igumenov I.K. , Filatov E.S. , Gromilov S.A. , Kvon R.I.
Structure of Ir-Al2 O3 Coatings Obtained by Chemical Vapor Deposition in the Hydrogen Atmosphere
Journal of Structural Chemistry. 2009. V.50. N5. P.919-922. DOI: 10.1007/s10947-009-0136-6 WOS Scopus РИНЦ
12 Яковкина Л.В. , Кичай В.Н. , Смирнова Т.П. , Каичев В.В. , Шубин Ю.В. , Морозова Н.Б. , Жерикова К.В. , Игуменов И.К.
Получение и свойства тонких пленок HfO2
Неорганические материалы. 2005. Т.41. №12. С.1474-1479. RSCI РИНЦ
13 Yakovkina L.V. , Kichai V.N. , Smirnova T.P. , Kaichev V.V. , Shubin Y.V. , Morozova N.B. , Zherikova K.V. , Igumenov I.K.
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
Inorganic Materials. 2005. V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8 WOS Scopus РИНЦ
14 Badalyan A.M. , Belyi V.I. , Gel'fond N.V. , Igumenov I.K. , Kosinova M.L. , Morozova N.B. , Rastorguev A.A. , Rumyantsev Y.M. , Smirnova T.P. , Fainer N.I. , Yakovkina L.V.
Chemical Composition and Structure of Thin Films Produced by Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2002. V.43. N4. P.556-580. DOI: 10.1023/A:1022084017202 WOS Scopus РИНЦ
15 Бадалян А.М. , Белый В.И. , Гельфонд Н.В. , Игуменов И.К. , Косинова М.Л. , Морозова Н.Б. , Расторгуев А.А. , Румянцев Ю.М. , Смирнова Т.П. , Файнер Н.И. , Яковкина Л.В.
Химическое строение и структура тонких пленок, полученных химическим осаждением из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2002. Т.43. №4. С.605-628.
16 Гельфонд Н.В. , Зайковский В.И. , Игуменов И.К.
Электронно-микроскопическое исследование структуры тонких иридиевых пленок, полученных методом химического осаждения из газовой фазы
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1994. №5. С.50-57. РИНЦ
17 Gelfond N.V. , Igumenov I.K. , Boronin A.I. , Bukhtiyarov V.I. , Smirnov M.Y. , Prosvirin I.P. , Kwon R.I.
An XPS Study of the Composition of Iridium Films Obtained by MO CVD
Surface Science. 1992. V.275. N3. P.323-331. DOI: 10.1016/0039-6028(92)90804-F WOS Scopus РИНЦ

Книги (1) Подробнее

1 Гриценко В.А. , Елисеев А.П. , Иванов М.В. , Игуменов И.К. , Каичев В.В. , Карпушин А.А. , Морозова Н.Б. , Насыров К.А. , Некрашевич С.С. , Новиков Ю.Н. , Перевалов Т.В. , Пустоваров В.А. , Расторгуев А.А. , Смирнова Т.П. , Снытников В.Н. , Сорокин А.Н. , Стояновский В.О. , Шапошников А.В.
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Монография, Изд-во СО РАН. Новосибирск.2011. 158 c. ISBN 9785769211836 (Вып.31); 9785769206696.

Доклады на конференциях (2) Подробнее

1 Polyakov M.S. , Badalian A.M. , Kaichev V.V. , Igumenov I.K.
Thermal and Plasma Chemical Copper Films Deposition Using Modified CVD Method - Combined Synthesis-Transport Technique
Euro CVD 19 Conference (EuroCVD19) 02-06 Sep 2013
2 Шевцов Ю.В. , Васильева И.Г. , Почтарь А.А. , Кучумов Б.М. , Игуменов И.К.
Влияние условий осаждения слоев в импульсном MO CVD методе на характеристики пленок HfO2
Третий семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы 23-27 июн. 2013