Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии Full article
Journal |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2008, Volume: 44, Number: 9, Pages: 1086-1092 Pages count : 7 | ||||||||
Authors |
|
||||||||
Affiliations |
|
Funding (3)
1 | Council for Grants of the President of the Russian Federation | НШ-636.2008.3 |
2 | Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences | 97 |
3 | Russian Foundation for Basic Research | 05-03-32393 |
Abstract:
Методами эллипсометрии, электронной микроскопии и РФЭС показано, что в процессе синтеза пленок HfO2 на кремнии протекает реакция взаимодействия слоя собственного оксида кремния с осаждаемым слоем HfO2 c образованием аморфного промежуточного слоя. Показатель преломления этого слоя равен 1.6 и отличается от показателя преломления слоя HfO2 (1.9-2.0) и SiO2 (1.46). Проведено термодинамическое рассмотрение системы Si SiO2 HfO2 Hf, из которого следует, что только при небольших давлениях кислорода равновесной является композиция Si/HfO2-у. С увеличением давления кислорода (эквивалентно появлению слоя собственного оксида) равновесной становится композиция Si/HfSiO4/HfO2-у.
Cite:
Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Яковкина Л.В.
, Косяков В.И.
, Белошапкин С.А.
, Кузнецов Ф.А.
, Лебедев М.С.
, Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008. Т.44. №9. С.1086-1092. РИНЦ
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008. Т.44. №9. С.1086-1092. РИНЦ
ArticleLinkType.ORIGINAL_TO_TRANSLATED:
Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Yakovkina L.V.
, Kosyakov V.I.
, Beloshapkin S.A.
, Kuznetsov F.A.
, Lebedev M.S.
, Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008. V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124 WOS Scopus РИНЦ
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008. V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Oct 11, 2006 |
Identifiers:
Elibrary | 11035814 |
publication.block.citing_info:
БД | Цитирований |
---|---|
Elibrary | 8 |