Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ Full article
Journal |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2010, Number: 2, Pages: 60-65 Pages count : 6 | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Funding (2)
1 | Russian Foundation for Basic Research | 06-03-32662 |
2 | Russian Foundation for Basic Research | 07-02-00391 |
Abstract:
Методами EXAFS-спектроскопии и атомно-силовой микроскопии изучались локальная атомная структура и морфология поверхности тонких полупроводниковых пленок Ge. Пленки были получены методом термического испарения материала в сверхвысоком вакууме при различных температурах подложки. Показано, что пленки состоят из аморфной и нанокристаллической фаз. Процентное содержание фаз зависит от температуры конденсации пленок. Зависимость размеров зерен от температуры конденсации при T = 100°С не соответствует классическому линейному закону.
Cite:
Валеев Р.Г.
, Деев А.Н.
, Сурнин Д.В.
, Кривенцов В.В.
, Карбан О.В.
, Ветошкин В.М.
, Пивоварова О.И.
Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. №2. С.60-65. РИНЦ
Исследование тонких пленок Ge с аморфно-нанокристаллической структурой методами EXAFS-спектроскопии и АСМ
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2010. №2. С.60-65. РИНЦ
ArticleLinkType.ORIGINAL_TO_TRANSLATED:
Valeev R.G.
, Deev A.N.
, Surnin D.V.
, Kriventsov V.V.
, Karban O.V.
, Vetoshkin V.M.
, Pivovarova O.I.
Study of Thin Ge Films with Amorphous and Nanocrystalline Phases via the Techniques of EXAFS Spectroscopy and AFM
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2010. V.4. N1. P.136-141. DOI: 10.1134/S1027451010010209 WOS Scopus РИНЦ
Study of Thin Ge Films with Amorphous and Nanocrystalline Phases via the Techniques of EXAFS Spectroscopy and AFM
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2010. V.4. N1. P.136-141. DOI: 10.1134/S1027451010010209 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Jul 14, 2009 |
Published print: | Feb 1, 2010 |
Identifiers:
Elibrary | 13044792 |
Chemical Abstracts | 2010:505543 |
Chemical Abstracts (print) | 153:419824 |
publication.block.citing_info:
БД | Цитирований |
---|---|
Elibrary | 1 |