Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения Conference Abstracts
Conference |
Международная научно-техническая конференция «INTERMATIC – 2017» 20-24 Nov 2017 , Москва |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Journal |
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения
|
||||||
Output data | Year: 2017, Number: 2, Pages: 395-398 Pages count : 4 | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Abstract:
С помощью метода ионно-лучевого распыления-осаждения металлического циркония в атмосфере кислорода при разных парциальных давлениях в зоне роста синтезированы аморфные нестехиометрические пленки ZrOx переменного состава и изучены их химический состав и оптические свойства в спектральном диапазоне 1.12-4.96 эВ. В соответствии с данными РФЭС пленки ZrOx имеют сложный химический состав, присутствуют компоненты: металлического циркония (Zr), оксидной стехиометрической (ZrO2), а также промежуточной оксидной нестехиометрической ZrOy (y<2). С помощью эллипсометрии обнаружено, что при величинах давления кислорода в источнике ниже 1.04.10-3 Па образуются поглощающие свет пленки с металлическим, а при величинах давлений выше 1.5.10-3 Па - прозрачные пленки с диэлектрическим типами проводимости. Показано, что спектральные зависимости оптических констант пленок ZrOx хорошо описываются соответствующими дисперсионными моделями: полиномиальной моделью Коши для пленок с диэлектрическим и осцилляторной моделью Лоренца-Друде для пленок с металлическим типами проводимости.
Cite:
Кручинин В.Н.
, Алиев В.Ш.
, Герасимова А.К.
, Гриценко В.А.
, Просвирин И.П.
, Рыхлицкий С.В.
Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2017. №2. С.395-398. РИНЦ
Химический состав и оптические свойства нестехиометрических тонких пленок ZrOx, полученных методом ионно-лучевого распыления-осаждения
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2017. №2. С.395-398. РИНЦ
Identifiers:
Elibrary | 32828111 |
Citing:
Пока нет цитирований