Оптические свойства тонких пленок нестехиометрического оксида тантала TAOX Conference Abstracts
Conference |
Международная научно-техническая конференция "INTERMATIC–2018" 19-23 Nov 2018 , Москва |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Journal |
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения
|
||||||
Output data | Year: 2018, Volume: 18, Number: 2, Pages: 295-298 Pages count : 4 | ||||||
Tags | ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ-ОСАЖДЕНИЕ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ НЕСТЕХИОМЕТРИЧЕСКОГО ОКСИДА ТАНТАЛА, СПЕКТРАЛЬНАЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ, ПОКАЗАТЕЛЬ ПОГЛОЩЕНИЯ | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Abstract:
Исследованы оптические свойства аморфных нестехиометрических пленок оксида тантала TaOx переменного состава (x = 1.94÷2.79) в спектральном диапазоне 1.12÷4.96 эВ, полученных с помощью ионно-лучевого распыления-осаждения металлического тантала при разных парциальных давлениях (0.53÷9.09.10-3 Па) кислорода. Методом спектроэллипсометрии показано, что по характеру дисперсии показателя поглощения в TaOx переменного состава можно сделать вывод о том, что при величинах давления кислорода в ростовой камере ниже 2.21.10-3 Па образуются поглощающие свет пленки с дисперсией, похожей на таковую в металлах, а при величинах давлений выше 2.81.10-3 Па - прозрачные пленки с диэлектрическим типом дисперсии. Зависимости показателя поглощения (E) имеют сложный характер, определяемый особенностями формирования потолка валентной зоны материала. По данным квантово-химического моделирования пик поглощения при энергии кванта 4.6 эВ в TaOx, наблюдаемый в спектре дисперсии показателя поглощения, обусловлен вакансией кислорода.
Cite:
Кручинин В.Н.
, Алиев В.Ш.
, Герасимова А.К.
, Гриценко В.А.
, Просвирин И.П.
, Рыхлицкий С.В.
Оптические свойства тонких пленок нестехиометрического оксида тантала TAOX
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2018. Т.18. №2. С.295-298. РИНЦ
Оптические свойства тонких пленок нестехиометрического оксида тантала TAOX
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2018. Т.18. №2. С.295-298. РИНЦ
Identifiers:
Elibrary | 36710128 |
Citing:
Пока нет цитирований