Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии | Sciact - CRIS-system of Boreskov Institute of Catalysis

Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии Full article

Journal

Автометрия
ISSN: 0320-7102

Output data

Year: 2019, Volume: 55, Number: 2, Pages: 14-27 Pages count : 14 DOI: 10.15372/AUT20190202

Tags

глубокая рентгеновская литография, LIGA-технология, микроструктуры, квазиоптические фильтры, терагерцовый диапазон

Authors

Генцелев А.Н. ¹ , Кузнецов С.А. ^1,2,3 , Дульцев Ф.Н. ^3,4 , Гольденберг Б.Г. ¹ , Зелинский А.Г. ⁵ , Кондратьев В.И. ¹ , Таныгина Д.С. ^2,6

Affiliations

1	Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН, 630090, г.Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
2	Новосибирский филиал Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН «Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники», 630090, г.Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
3	Новосибирский государственный университет, 630090, г.Новосибирск, ул.Пирогова, 2
4	Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, 630090, г.Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 13
5	Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН, 630128, г.Новосибирск, ул.Кутателадзе, 18
6	Дальневосточный федеральный университет, 690091, г.Владивосток, ул.Суханова, 8

Описывается методика создания квазиоптических фильтров высоких частот терагерцового диапазона на базе толстых (толщиной до 1 мм) самонесущих медных микроструктур субволновой топологии. Методика основана на рентгенолитографическом формировании высокоаспектной резистивной маски из рентгенорезиста SU-8 на кремниевой подложке с использованием вольфрамового рентгеношаблона и последующим гальваническим выращиванием медного слоя через резистивную маску. Рассмотрен пример структуры толщиной 212 мкм с частотой отсечки 0,42 ТГц, имеющей топологию гексагонально упакованных отверстий шестиугольной формы. Представлены результаты широкополосной ТГц-характеризации полученной структуры и её электродинамического анализа.

Генцелев А.Н. , Кузнецов С.А. , Дульцев Ф.Н. , Гольденберг Б.Г. , Зелинский А.Г. , Кондратьев В.И. , Таныгина Д.С.
Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии
Автометрия. 2019. Т.55. №2. С.14-27. DOI: 10.15372/AUT20190202 РИНЦ

Gentselev A.N. , Kuznetsov S.A. , Dultsev F.N. , Goldenberg B.G. , Zelinsky A.G. , Kondratyev V.I. , Tanygina D.S.
Implementation of Terahertz High-Pass Filters Based on All-Metal Microstructures using Deep X-ray Lithography
Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2019. V.55. N2. P.115–125. DOI: 10.3103/S875669901902002X WOS Scopus РИНЦ

Submitted:	Oct 22, 2018
Accepted:	Dec 24, 2018
Published print:	Mar 1, 2019

Elibrary

37268796