Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции Full article
Journal |
Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2008, Volume: 49, Number: 1, Pages: 27-36 Pages count : 10 | ||||
Tags | ПЛЕНКИ ДИОКСИДА ГАФНИЯ, ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ, ВОДА, ГИДРОКСИЛ-РАДИКАЛ | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Funding (2)
1 | Russian Foundation for Basic Research | 05-03-32393 |
2 | Council for Grants of the President of the Russian Federation | НШ-4419.2006.3 |
Abstract:
Разработана методика с применением водородно-дейтериевой лампы в качестве источника возбуждения фотолюминесценции (ФЛ) для исследования пленок диоксида гафния. Проведено изучение ФЛ пленок HfO2. Анализ спектров ФЛ исследуемых пленок показал, что их характер соответствует спектрам ФЛ, приведенным в известных публикациях, где возбуждение ФЛ обеспечивали значительно более мощными источниками света: СИ-радиацией, либо ArF-лазером. Сопоставление полученных нами данных с литературными подтверждает вывод о слабой зависимости характера ФЛ пленок от типа исходного вещества, используемого при их синтезе. Интенсивность полос спектров ФЛ зависит от условий синтеза пленок и температуры их отжига. Анализ спектров ФЛ и спектров возбуждения позволил выявить полосу эмиссии при энергии E ~ 4 эВ с узким максимумом возбуждения при Eмакс @ 4,25 эВ, которую мы приписали к резонансному электронно-колебательному переходу A2S+ « X2Pi в возбужденном радикале OH. Обнаружение в спектрах ФЛ пленок HfO2 воды, которая, как один из продуктов термического разложения Hf(dpm)4 в процессе роста пленки, захватывается в виде примеси, позволяет по-новому поставить вопрос о влиянии этой примеси на величину токов утечки и важности контроля за ее содержанием в пленках.
Cite:
Расторгуев А.А.
, Белый В.И.
, Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции
Журнал структурной химии. 2008. Т.49. №1. С.27-36. РИНЦ
Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции
Журнал структурной химии. 2008. Т.49. №1. С.27-36. РИНЦ
Translated:
Rastorguev A.A.
, Belyi V.I.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008. V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9 WOS Scopus РИНЦ
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008. V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Apr 28, 2007 |
Identifiers:
Elibrary | 11917178 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 2 |