Синтез слоев Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть I. Синтез, химический и фазовый состав железосодержащих слоев, полученных термическим разложением ферроцена Full article
Journal |
Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2015, Volume: 41, Number: 6, Pages: 851-860 Pages count : 10 | ||||||
Tags | термодинамическое моделироавание, ферроцен, химическое осаждение пленок из газовой фазы при пониженном давлении, силицид железа | ||||||
Authors |
|
||||||
Affiliations |
|
Funding (1)
1 | The Ministry of Education and Science of the Russian Federation |
Abstract:
Проведено термодинамическое моделирование системы Fe-C-H-He при общем давлении Р 0 общ. = 10 -2-10 Торр в интервале температур 300-1300 K для определения условий, в которых возможен синтез железосодержащих слоев из газовой смеси ферроцена (C 5H 5) 2Fe и гелия He. С использованием результатов термодинамического моделирования разработан процесс осаждения железосодержащих слоев при высокотемпературном разложении исходной газовой смеси (C 5H 5) 2Fe + He в температурном интервале 1073-1273 K. Синтезированные железосодержащие слои охарактеризованы с помощью следующих методов: спектроскопии комбинационного рассеяния, ИK спектроскопии, энергодисперсионной спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, рентгенофазового анализа с использованием синхротронного излучения, растровой электронной и атомно-силовой микроскопии. Установлено, что в железосодержащих слоях при использовании кремниевой подложки Si(100) образуются фазы силицида железа и углеродных нанотрубок, а при использовании подложек из плавленого кварца - смесь карбида железа, железа, углеродных нанотрубок. На подложках из сапфира осаждаются пленки, состоящие из карбида железа и углеродных материалов.
Cite:
Файнер Н.И.
, Пушкарев Р.В.
, Голубенко А.Н.
, Румянцев Ю.М.
, Максимовский Е.А.
, Каичев В.В.
Синтез слоев Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть I. Синтез, химический и фазовый состав железосодержащих слоев, полученных термическим разложением ферроцена
Физика и химия стекла. 2015. Т.41. №6. С.851-860. РИНЦ
Синтез слоев Si-C-N-Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть I. Синтез, химический и фазовый состав железосодержащих слоев, полученных термическим разложением ферроцена
Физика и химия стекла. 2015. Т.41. №6. С.851-860. РИНЦ
Translated:
Fainer N.I.
, Pushkarev R.V.
, Golubenko A.N.
, Rumyantsev Y.M.
, Maksimovskii E.A.
, Kaichev V.V.
Synthesis of Si–C–N–Fe Layers from Volatile Organosilicon Precursors and Ferrocene. Part I. Synthesis, Chemical and Phase Composition of IronContaining Layers Prepared by Thermal Decomposition of Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2015. V.41. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S1087659615060048 WOS Scopus РИНЦ
Synthesis of Si–C–N–Fe Layers from Volatile Organosilicon Precursors and Ferrocene. Part I. Synthesis, Chemical and Phase Composition of IronContaining Layers Prepared by Thermal Decomposition of Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2015. V.41. N6. P.630-636. DOI: 10.1134/S1087659615060048 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Dec 16, 2014 |
Identifiers:
Elibrary | 25062274 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 3 |