Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе Full article
Journal |
Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2012, Volume: 53, Number: 4, Pages: 718-724 Pages count : 7 | ||||
Tags | диоксид гафния, бинарные растворы, "high-k"-диэлектрики | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Funding (9)
1 | Президиум РАН | 21 |
2 | The Ministry of Education and Science of the Russian Federation | 16.518.11.7019 |
3 | Russian Foundation for Basic Research | 12-03-01039 (01201258422) |
4 | Russian Foundation for Basic Research | 12-03-01154 |
5 | Russian Foundation for Basic Research | 10-03-01005 |
6 | Russian Foundation for Basic Research | 08-03-92502 |
7 | Russian Foundation for Basic Research | 09-03-01012 |
8 | Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences | 98 |
9 | Президиум РАН | 20 |
Abstract:
Проведен анализ химического состава и структуры пленок HfO2 и двойных оксидов, формирующихся при их легировании алюминием и скандием. Показано, что легирование HfO2 алюминием приводит к аморфизации пленок: при концентрации Al больше 30 ат.% пленка становится аморфной. Легирование HfO2 скандием модифицирует моноклинную структуру и в области концентраций Sc от ~9 до ~14 ат.% Sc в неравновесных условиях CVD процесса при 600 °C формируется пленка твердого раствора орторомбической структуры.
Cite:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
Translated:
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Oct 25, 2011 |
Identifiers:
RSCI | RSCI:17978402 |
Elibrary | 17978402 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 3 |