Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x Full article
Journal |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2013, Volume: 49, Number: 2, Pages: 165-172 Pages count : 8 DOI: 10.7868/S0002337X12120147 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Funding (1)
1 | Russian Foundation for Basic Research | 12-03-00131 |
Abstract:
Пленки (HfO2)1 - x(Sc2O3)x получены методом химического осаждения из газовой фазы (CVD) с использованием в качестве исходных веществ летучих комплексных соединений: 2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионат гафния (Hf(thd)4) и 2,2,6,6-тетраметил-3,5-гептандионат скандия (Sc(thd)3). Исследованы состав и структура пленок с концентрацией Sc от 1 до 36 ат. %. Установлено, что в области концентраций Sc от 9 до 14 ат. % формируются трехкомпонентные нанокристаллические пленки, не известной ранее для этой системы орторомбической модификации. На тестовых структурах Al/(HfO2)1 - x(Sc2O3)x/Si определены значения диэлектрической проницаемости и ток утечки через диэлектрик для пленок с различной концентрацией скандия. Установлено, что для пленок c орторомбической структурой значение диэлектрической проницаемости достигает величины k = 4244, при этом ток утечки не превышает значения J = 10-8 A/см2.
Cite:
Яковкина Л.В.
, Смирнова Т.П.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147 РИНЦ
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147 РИНЦ
ArticleLinkType.ORIGINAL_TO_TRANSLATED:
Yakovkina L.V.
, Smirnova T.P.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013. V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234 WOS Scopus РИНЦ
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013. V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Jul 25, 2011 |
Identifiers:
Elibrary | 18444812 |
OpenAlex | W2319225589 |
publication.block.citing_info:
БД | Цитирований |
---|---|
Elibrary | 1 |