1
|
Smirnova T.P.
, Saraev A.A.
, Korolkov I.V.
, Kitchai V.N.
, Borisov V.O.
The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System
Journal of Crystal Growth. 2019.
V.523. 125156
:1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014.
V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X
РИНЦ
|
4
|
Яковкина Л.В.
, Смирнова Т.П.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147
РИНЦ
|
5
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
, Борисов В.О.
, Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Monography chapter
Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники.
– Изд-во СО РАН.,
2013.
– Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
|
6
|
Yakovkina L.V.
, Smirnova T.P.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234
WOS
Scopus
РИНЦ
|
7
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.718-724.
RSCI
РИНЦ
|
8
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Smirnova T.P.
, Kuznetsov F.A.
, Yakovkina L.
, Kaichev V.
, Kosyakov V.
, Lebedev M.
, Kichai V.
HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics
ECS Transactions. 2009.
V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680
WOS
Scopus
РИНЦ
|
10
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Kitchai V.N.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008.
V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123
WOS
Scopus
РИНЦ
|
11
|
Яковкина Л.В.
, Кичай В.Н.
, Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Шубин Ю.В.
, Морозова Н.Б.
, Жерикова К.В.
, Игуменов И.К.
Получение и свойства тонких пленок HfO2
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №12. С.1474-1479.
RSCI
РИНЦ
|
12
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
13
|
Yakovkina L.V.
, Kichai V.N.
, Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
, Igumenov I.K.
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8
WOS
Scopus
РИНЦ
|
14
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
15
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Бадалян А.М.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000.
Т.8. №5. С.731-738.
РИНЦ
|