1
|
Polyakov M.S.
, Badalyan A.M.
, Kaichev V.V.
, Igumenov I.K.
Thermal- and Plasma-Enhanced Copper Film Deposition via a Combined Synthesis-Transport CVD Technique
Chemical Vapor Deposition. 2014.
V.20. N4-6. P.170-176. DOI: 10.1002/cvde.201307078
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Polyakov M.S.
, Badalyan A.M.
, Kaichev V.V.
, Igumenov I.K.
A Novel Plasma-Chemical Process of Metallic Layer Deposition from Small-Size Volatile Metal Complexes
Advanced Materials Research. 2014.
V.875-877. P.246-250. DOI: 10.4028/www.scientific.net/AMR.875-877.246
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Бадалян А.
, Поляков М.
, Каичев В.В.
, Надолинный В.
, Игуменов И.
Образование “малоразмерных” летучих комплексов при осаждении пленок меди методом совмещенного синтеза-переноса
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №8. С.833-838. DOI: 10.7868/S0002337X13080010
РИНЦ
|
4
|
Badalyan A.M.
, Polyakov M.S.
, Kaichev V.V.
, NadolinnyI V.A.
, Igumenov I.K.
Formation of Small Volatile Complexes During Copper Film Growth by the Combined Synthesis-Transport Method
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N8. P.775-780. DOI: 10.1134/S0020168513080013
WOS
Scopus
РИНЦ
|
5
|
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011.
V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011.
Т.81. №9. С.113-118.
РИНЦ
|
7
|
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Kashnikov B.P.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
Formation of Thin Nanostructured Layers during Heterogeneous Gas-Phase Synthesis from Small-Size Volatile Metal Complexes on the Surface of Semiconductors and Dielectrics
Technical Physics Letters. 2010.
V.36. N3. P.265-268. DOI: 10.1134/S1063785010030193
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Кашников Б.П.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Формирование наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов на поверхности полупроводников и диэлектриков
Письма в Журнал технической физики. 2010.
Т.36. №6. С.36-45.
РИНЦ
|
9
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Подгорбунская Т.А.
, Рахлин В.И.
Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №12. С.1453-1460.
РИНЦ
|
10
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Podgorbunskaya T.A.
, Rakhlin V.I.
Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091
WOS
Scopus
РИНЦ
|
11
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
12
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
13
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Рахлин В.И.
, Воронков М.Г.
, Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004.
Т.7. С.1607-1615.
РИНЦ
|
14
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
15
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
16
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Шмаков А.Н.
, Асанов И.П.
, Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003.
Т.39. №2. С.163-169.
РИНЦ
|
17
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003.
V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997
WOS
Scopus
РИНЦ
|
18
|
Smirnova T.P.
, Badalian A.M.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Rachlin V.I.
, Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
19
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
20
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|