1
|
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Журнал технической физики. 2011.
Т.81. №9. С.113-118.
РИНЦ
|
2
|
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
New Technique for Heterogeneous Vapor-Phase Synthesis of Nanostructured Metal Layers from Low-Dimensional Volatile Metal Complexes
Technical Physics. 2011.
V.56. N9. P.1333-1338. DOI: 10.1134/S1063784211090039
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Badalyan A.M.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Kashnikov B.P.
, Polyakov O.V.
, Pchelyakov O.P.
, Smirnov G.I.
Formation of Thin Nanostructured Layers during Heterogeneous Gas-Phase Synthesis from Small-Size Volatile Metal Complexes on the Surface of Semiconductors and Dielectrics
Technical Physics Letters. 2010.
V.36. N3. P.265-268. DOI: 10.1134/S1063785010030193
WOS
Scopus
РИНЦ
|
4
|
Бадалян А.М.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Кашников Б.П.
, Поляков О.В.
, Пчеляков О.П.
, Смирнов Г.И.
Формирование наноструктурированных тонких слоев при их газогетерогенном синтезе из малоразмерных летучих металлокомплексов на поверхности полупроводников и диэлектриков
Письма в Журнал технической физики. 2010.
Т.36. №6. С.36-45.
РИНЦ
|
5
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Podgorbunskaya T.A.
, Rakhlin V.I.
Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Подгорбунская Т.А.
, Рахлин В.И.
Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №12. С.1453-1460.
РИНЦ
|
7
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
9
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Рахлин В.И.
, Воронков М.Г.
, Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004.
Т.7. С.1607-1615.
РИНЦ
|