1
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
2
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Smirnova T.P.
, Badalian A.M.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Rachlin V.I.
, Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
4
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
5
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Сысоева Н.П.
, Асанов И.П.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
, Шмаков А.Н.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001.
Т.9. №7. С.857-864.
РИНЦ
|
7
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Sysoeva N.P.
, Asanov I.P.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources
Chemistry for Sustainable Development. 2001.
V.9. N7. P.23-29.
РИНЦ
|
8
|
Smirnova T.P.
, Shmakov A.N.
, Badalyan A.M.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as New Materials Obtained by Plasma Chemical Vapor Deposition from Novel Precursor
In compilation
Complex Mediums II: Beyond Linear Isotropic Dielectrics : International Symposium on Optical Science and Technology.
2001.
– C.366-376. DOI: 10.1117/12.432950
WOS
Scopus
РИНЦ
|