1
|
Smirnova T.P.
, Saraev A.A.
, Korolkov I.V.
, Kitchai V.N.
, Borisov V.O.
The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System
Journal of Crystal Growth. 2019.
V.523. 125156
:1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Kaichev V.V.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Ivanova E.V.
, Zamoryanskaya M.V.
, Saraev A.A.
, Pustovarov V.A.
, Perevalov T.V.
, Gritsenko V.A.
Structure, Chemistry and Luminescence Properties of Dielectric LaxHf1-xOy Films
Materials Chemistry and Physics. 2016.
V.175. P.200-205. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2016.03.019
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Geng H.
, Lin T.
, Letha A.J.
, Hwang H-L.
, Kyznetsov F.A.
, Smirnova T.P.
, Saraev A.A.
, Kaichev V.V.
Advanced Passivation Techniques for Si Solar Cells with High-κ Dielectric Materials
Applied Physics Letters. 2014.
V.105. N12. P.123905. DOI: 10.1063/1.4896619
WOS
Scopus
РИНЦ
|
4
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X
РИНЦ
|
5
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014.
V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Яковкина Л.В.
, Смирнова Т.П.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147
РИНЦ
|
7
|
Yakovkina L.V.
, Smirnova T.P.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Kaichev V.V.
, Ivanova E.V.
, Zamoryanskaya M.V.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Gritsenko V.A.
XPS and Cathodoluminescence Studies of HfO2, Sc2O3 and (HfO2)1-x(Sc2O3)x Films
The European Physical Journal - Applied Physics. 2013.
V.64. N1. P.10302-1-4. DOI: 10.1051/epjap/2013130005
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
, Борисов В.О.
, Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Monography chapter
Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники.
– Изд-во СО РАН.,
2013.
– Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
|
10
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.718-724.
RSCI
РИНЦ
|
11
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130
WOS
Scopus
РИНЦ
|
12
|
Каичев В.В.
, Дубинин Ю.В.
, Смирнова Т.П.
, Лебедев М.С.
Изучение структуры пленок (HfO2)x(Al2O3)1–x/Si методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
Журнал структурной химии. 2011.
Т.52. №3. С.495-502.
RSCI
РИНЦ
|
13
|
Kaichev V.V.
, Dubinin Y.V.
, Smirnova T.P.
, Lebedev M.S.
A Study of the Structure of (HfO2 ) x (Al2 O3)1−x /Si Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy
Journal of Structural Chemistry. 2011.
V.52. N3. P.480-487. DOI: 10.1134/S002247661103005X
WOS
Scopus
РИНЦ
|
14
|
Smirnova T.P.
, Lebedev M.S.
, Morozova N.B.
, Semyannikov P.P.
, Zherikova K.V.
, Kaichev V.V.
, Dubinin Y.V.
MOCVD and Physicochemical Characterization of (HfO2)x(Al2O3)1-x Thin Films
Chemical Vapor Deposition. 2010.
V.16. N4-6. P.185-190. DOI: 10.1002/cvde.201006840
WOS
Scopus
РИНЦ
|
15
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Beloshapkin S.A.
, Kaichev V.V.
, Alferova N.I.
, Jeong-Hwan S.
Interfaces Analysis of the HfO2/SiO2/Si Structure
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2010.
V.71. N5. P.836-840. DOI: 10.1016/j.jpcs.2010.02.010
WOS
Scopus
РИНЦ
|
16
|
Smirnova T.P.
, Kuznetsov F.A.
, Yakovkina L.
, Kaichev V.
, Kosyakov V.
, Lebedev M.
, Kichai V.
HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics
ECS Transactions. 2009.
V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680
WOS
Scopus
РИНЦ
|
17
|
Lebedev M.S.
, Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
Thin Films of (HfO2)x(Al2O 3)1-x Alloys: Preparation, Chemical Structure and Dielectric Properties
International Workshop and Tutorials on Electron Devices and Materials, EDM - Proceedings. 2009.
P.32-36. DOI: 10.1109/EDM.2009.5173920
WOS
Scopus
РИНЦ
|
18
|
Расторгуев А.А.
, Белый В.И.
, Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции
Журнал структурной химии. 2008.
Т.49. №1. С.27-36.
РИНЦ
|
19
|
Rastorguev A.A.
, Belyi V.I.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008.
V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
20
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Kitchai V.N.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008.
V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123
WOS
Scopus
РИНЦ
|