21
|
Rastorguev A.A.
, Belyi V.I.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008.
V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
22
|
Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Яковкина Л.В.
, Косяков В.И.
, Белошапкин С.А.
, Кузнецов Ф.А.
, Лебедев М.С.
, Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №9. С.1086-1092.
РИНЦ
|
23
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Kitchai V.N.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008.
V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123
WOS
Scopus
РИНЦ
|
24
|
Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Yakovkina L.V.
, Kosyakov V.I.
, Beloshapkin S.A.
, Kuznetsov F.A.
, Lebedev M.S.
, Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124
WOS
Scopus
РИНЦ
|
25
|
Яковкина Л.В.
, Кичай В.Н.
, Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Шубин Ю.В.
, Морозова Н.Б.
, Жерикова К.В.
, Игуменов И.К.
Получение и свойства тонких пленок HfO2
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №12. С.1474-1479.
RSCI
РИНЦ
|
26
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
27
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
28
|
Yakovkina L.V.
, Kichai V.N.
, Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
, Igumenov I.K.
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8
WOS
Scopus
РИНЦ
|
29
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Рахлин В.И.
, Воронков М.Г.
, Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004.
Т.7. С.1607-1615.
РИНЦ
|
30
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
31
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
32
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Шмаков А.Н.
, Асанов И.П.
, Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003.
Т.39. №2. С.163-169.
РИНЦ
|
33
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003.
V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997
WOS
Scopus
РИНЦ
|
34
|
Smirnova T.P.
, Badalian A.M.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Rachlin V.I.
, Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
35
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
36
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|
37
|
Бадалян А.М.
, Белый В.И.
, Гельфонд Н.В.
, Игуменов И.К.
, Косинова М.Л.
, Морозова Н.Б.
, Расторгуев А.А.
, Румянцев Ю.М.
, Смирнова Т.П.
, Файнер Н.И.
, Яковкина Л.В.
Химическое строение и структура тонких пленок, полученных химическим осаждением из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2002.
Т.43. №4. С.605-628.
|
38
|
Badalyan A.M.
, Belyi V.I.
, Gel'fond N.V.
, Igumenov I.K.
, Kosinova M.L.
, Morozova N.B.
, Rastorguev A.A.
, Rumyantsev Y.M.
, Smirnova T.P.
, Fainer N.I.
, Yakovkina L.V.
Chemical Composition and Structure of Thin Films Produced by Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2002.
V.43. N4. P.556-580. DOI: 10.1023/A:1022084017202
WOS
Scopus
РИНЦ
|
39
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Сысоева Н.П.
, Асанов И.П.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
, Шмаков А.Н.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001.
Т.9. №7. С.857-864.
РИНЦ
|
40
|
Smirnova T.P.
, Shmakov A.N.
, Badalyan A.M.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as New Materials Obtained by Plasma Chemical Vapor Deposition from Novel Precursor
In compilation
Complex Mediums II: Beyond Linear Isotropic Dielectrics : International Symposium on Optical Science and Technology.
2001.
– C.366-376. DOI: 10.1117/12.432950
WOS
Scopus
РИНЦ
|