Исследование кросс-корреляции шероховатости в многослойном зеркале Ni/C методом рентгеновского диффузного рассеяния Научная публикация
Журнал |
Журнал экспериментальной и теоретической физики
ISSN: 0044-4510 |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2003, Том: 124, Номер: 6, Страницы: 1345-1357 Страниц : 13 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (2)
1 | Российский фонд фундаментальных исследований | 03-02-16259 |
2 | Сибирское отделение Российской академии наук |
Реферат:
Обсуждаются возможности рентгеновского диффузного рассеяния для исследования шероховатости в многослойных рентгеновских зеркалах, в том числе корреляции шероховатостей соседних границ раздела (кросс-корреляции шероховатости). Показано, что надежность и информативность этого метода можно увеличить за счет отказа от классических схем эксперимента и использования альтернативных схем, в которых измеряется не только сама интенсивность диффузного рассеяния, но и ее зависимость от некоторых экспериментальных параметров (условий). Такими параметрами могут быть пространственная когерентность падающего излучения, направление переданного импульса относительно плоскости зеркальной дифракции, длина волны рентгеновского излучения и др. В рамках такого подхода в работе представлены результаты сравнительных измерений диффузного рассеяния от многослойного рентгеновского зеркала Ni/C, приготовленного с помощью лазерного напыления, при двух близких энергиях фотонов: ниже (8.325 кэВ) и выше (8.350 кэВ) К-края поглощения никеля. Показано, что за счет эффективного экранирования глубоких слоев в режиме жесткого фотопоглощения этот метод позволяет получить более надежную по сравнению со стандартным методом диффузного рассеяния информацию об эволюции межслоевых границ раздела. Обнаружено, что сглаживание шероховатости в исследуемом образце происходит в таких больших пространственных масштабах как микронный. Только крупномасштабные дефекты с размерами большими 10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Обсуждаются возможные физические причины наблюдаемого явления. Показано, что эффективное сглаживание в микронном и субмикронном пространственных масштабах имеет принципиальное значение для изготовления многослойных рентгеновских зеркал с высокими коэффициентами отражения.
Библиографическая ссылка:
Коваленко Н.В.
, Мытниченко С.В.
, Чернов В.А.
Исследование кросс-корреляции шероховатости в многослойном зеркале Ni/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2003. Т.124. №6. С.1345-1357. Scopus РИНЦ
Исследование кросс-корреляции шероховатости в многослойном зеркале Ni/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2003. Т.124. №6. С.1345-1357. Scopus РИНЦ
Переводная версия:
Kovalenko N.V.
, Mytnichenko S.V.
, Chernov V.A.
Investigation of Roughness Cross Correlation in a Ni/C Multilayer Mirror by X-Ray Diffuse Scattering Method
Journal of Experimental and Theoretical Physics. 2003. V.97. N6. P.1201-1211. DOI: 10.1134/1.1641902 WOS Scopus РИНЦ
Investigation of Roughness Cross Correlation in a Ni/C Multilayer Mirror by X-Ray Diffuse Scattering Method
Journal of Experimental and Theoretical Physics. 2003. V.97. N6. P.1201-1211. DOI: 10.1134/1.1641902 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 24 апр. 2003 г. |
Идентификаторы БД:
Scopus | 2-s2.0-0346401747 |
РИНЦ | 15846822 |