Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния Научная публикация
Журнал |
Неорганические материалы
ISSN: 0002-337X |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2005, Том: 41, Номер: 7, Страницы: 808-815 Страниц : 8 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (4)
1 | Сибирское отделение Российской академии наук | 114 |
2 | Российский фонд фундаментальных исследований | 03-03-32080 |
3 | Совет по грантам Президента Российской Федерации | НШ-1042.2003.3 |
4 | Совет по грантам Президента Российской Федерации | НШ-1129.2003.3 |
Реферат:
С использованием комплекса современных аналитических методов исследованы пленки карбонит-рида кремния, синтезированные из новых летучих высокоазотсодержащих силильных производных несимметричного диметилгидразина: (CH3)2HSiNHN(CH3)2 (ДМДМСГ) и M2Si(NHNM2)2 (бис-ДМГДМС). Показано, что для этих пленок характерны только связи Si-C, Si-N и C(sp3)-N. Их количественное соотношение зависит от молекулярной структуры исходного вещества и условий синтеза. Отношение Si-C/[Si-N + C(.sp3)-N] выше в пленках, полученных из ДМДМСГ. Образование связи C(sp3)-N, характерной для сверхтвердых фаз, подтверждено комплексом спектроскопических данных, которые в совокупности указывают на то, что пленки представляют собой сложную каркасную структуру, а не смесь фаз Si3N4, SiC и C3N4. На структуру пленки оказывает влияние соотношение N/Si в молекуле исходного вещества: при N/Si = 2 формируется аморфная пленка с нано-кристаллическими включениями тетрагональной структуры, а при N/Si = 4 образуется чисто аморфный материал. Возможность варьирования химического состава и структуры слоев позволила получить слои с различными физико-химическими и электрофизическими свойствами.
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005. Т.41. №7. С.808-815. RSCI РИНЦ
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005. Т.41. №7. С.808-815. RSCI РИНЦ
Переводная:
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005. V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9 WOS Scopus РИНЦ
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005. V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 7 февр. 2005 г. |
Опубликована в печати: | 1 июл. 2005 г. |
Идентификаторы БД:
Russian Science Citation Index (RSCI) | RSCI:9152220 |
РИНЦ | 9152220 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 3 |