Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена Научная публикация

Общее Язык: Русский, Жанр: Статья (Full article),
Статус опубликования: Опубликована, Оригинальность: Оригинальная
Журнал Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651
Вых. Данные Год: 2016, Том: 42, Номер: 5, Страницы: 65-73 Страниц : 8
Авторы Пушкарев Р.В. 1 , Файнер Н.И. 1 , Голубенко А.Н. 1 , Румянцев Ю.М. 1 , Надолинный В.А. 1 , Максимовский Е.А. 1 , Коротаев Е.В. 1 , Каичев В.В. 2,3
Организации
1 Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 5
2 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия, 630090, Новосибирск, ул. Пирогова, 2
3 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 5

Реферат: Проведено термодинамическое моделирование осаждения конденси-рованных фаз сложного состава в системе Si—C—N—Fe—H—(He) в температурной области 500—1300 K при общем давлении в системе 10(-2)—10( -1) Торр и при использовании исходной газовой смеси трис(диэтиламино)силана HSi[N(C2H5)2]3, ферроцена (C5H5)2Fe и гелия. С использованием результатов термодинамического моделирования разработан метод получения пленок SiCxNyFez с помощью высокотемпературного разложения газовой смеси ТДЭАС, ферроцена и гелия при пониженном давлении в температурном интервале 1073—1273 K. Установлена зависимость химического и фазового состава пленок от условий синтеза с помощью различных методов химического анализа, таких как: ИК-спектроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния света, растровая электронная микроскопия, энергодисперсионная спектроскопия, рентгенофазовый анализ с использованием синхротронного излучения, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС). Методами Фа-радея и электронного парамагнитного резонанса исследованы магнитные свойства пленок. Показано, что при температуре синтеза 1123 K пленки являются парамагнитными, а при температуре осаждения 1273 K — ферромагнитными. Методом наноиндентирования охарактеризованы механические свойства пленок.
Библиографическая ссылка: Пушкарев Р.В. , Файнер Н.И. , Голубенко А.Н. , Румянцев Ю.М. , Надолинный В.А. , Максимовский Е.А. , Коротаев Е.В. , Каичев В.В.
Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Физика и химия стекла. 2016. Т.42. №5. С.65-73. РИНЦ
Переводная версия: Pushkarev R.V. , Fainer N.I. , Golubenko A.N. , Rumyantsev Y.M. , Nadolinnyi V.A. , Maksimovskii E.A. , Korotaev E.V. , Kaichev V.V.
Synthesis of Si–C–N–Fe Films from Volatile Organosilicon Substances-Precursors and Ferrocene. Part II. Properties of SiCxNyFez Films Obtained by Thermal Decomposition of Tris(Diethylamino)Silane and Ferrocene
Glass Physics and Chemistry. 2016. V.42. N5. P.490-496. DOI: 10.1134/S1087659616050126 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: 22 дек. 2015 г.
Идентификаторы:
РИНЦ 28795462