Синтез пленок Si—C—N—Fe из летучих кремнийорганических веществ-предшественников и ферроцена. Часть II. Свойства пленок SiCxNyFez, полученных термическим разложением трис(диэтиламино)силана и ферроцена
Научная публикация
| Общее |
Язык:
Русский,
Жанр:
Статья (Full article),
Статус опубликования:
Опубликована,
Оригинальность:
Оригинальная
|
| Журнал |
Физика и химия стекла
ISSN: 0132-6651
|
| Вых. Данные |
Год: 2016,
Том: 42,
Номер: 5,
Страницы: 65-73
Страниц
: 8
|
| Авторы |
Пушкарев Р.В.
1
,
Файнер Н.И.
1
,
Голубенко А.Н.
1
,
Румянцев Ю.М.
1
,
Надолинный В.А.
1
,
Максимовский Е.А.
1
,
Коротаев Е.В.
1
,
Каичев В.В.
2,3
|
| Организации |
| 1 |
Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 5
|
| 2 |
Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Россия, 630090, Новосибирск, ул. Пирогова, 2
|
| 3 |
Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, Россия, 630090, Новосибирск, пр. Акад. Лаврентьева, 5
|
|
Проведено термодинамическое моделирование осаждения конденси-рованных фаз сложного состава в системе Si—C—N—Fe—H—(He) в температурной области 500—1300 K при общем давлении в системе
10(-2)—10( -1) Торр и при использовании исходной газовой смеси трис(диэтиламино)силана HSi[N(C2H5)2]3, ферроцена (C5H5)2Fe и гелия. С использованием результатов термодинамического моделирования разработан метод получения пленок SiCxNyFez с помощью высокотемпературного разложения газовой смеси ТДЭАС, ферроцена и гелия при пониженном давлении в температурном интервале 1073—1273 K. Установлена зависимость химического и фазового состава пленок от условий синтеза с помощью различных методов химического анализа, таких как: ИК-спектроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния света, растровая электронная микроскопия, энергодисперсионная спектроскопия, рентгенофазовый анализ с использованием синхротронного излучения, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС). Методами Фа-радея и электронного парамагнитного резонанса исследованы магнитные свойства пленок. Показано, что при температуре синтеза 1123 K пленки являются парамагнитными, а при температуре осаждения 1273 K — ферромагнитными. Методом наноиндентирования охарактеризованы механические свойства пленок.