Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале
Научная публикация
| Общая информация |
Язык:
Русский,
Жанр:
Статья (Full article),
Статус опубликования:
Опубликована,
Оригинальность:
Оригинальная
|
| Журнал |
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
ISSN: 0370-274X
|
| Вых. Данные |
Год: 2003,
Том: 77,
Номер: 1-2,
Страницы: 85-88
Страниц
: 4
|
| Авторы |
Коваленко Н.В.
1
,
Мытниченко С.В.
2
,
Чернов В.А.
3
|
| Организации |
| 1 |
Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН
|
| 2 |
Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
|
| 3 |
Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН
|
|
С помощью измерений рентгеновского диффузного рассеяния (РДР) проведено исследование корреляции шероховатостей соседних межслоевых границ (кросс-корреляция шероховатостей) в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале (МРЗ), приготовленном лазерным напылением. Измерения интенсивности РДР вблизи первого брэгговского отражения были выполнены в зависимости от энергии фотонов: чуть ниже (8.325 кэВ) и чуть выше (8.350 кэВ) К-края фотопоглощения никеля. Эффективная экранировка вклада нижних слоев в сечение РДР вследствие сильного затухания волнового поля при энергии фотонов выше края фотопоглощения позволила, при помощи таких сравнительных измерений, получить информацию о характере кросс-корреляции шероховатостей по глубине образца. В частности, при энергии фотонов 8.325 кэВ (вклад в сечение РДР от всего объема МРЗ) величина характерной латеральной длины корреляции шероховатости оказалась равной 0.35 мкм, а при энергии 8.350 кэВ (вклад преимущественно верхних слоев) она возрастала до 0.4 мкм. Эти данные являются прямым подтверждением механизма сглаживания межслойных шероховатостей в процессе роста Ni/C МРЗ в аномально больших пространственных масштабах вплоть до микронного. Оказалось, что только шероховатые крупномасштабные дефекты с размерами ≥10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Возможным объяснением наблюдаемого явления могут быть процессы вязкого растекания и (или) реиспарения при осаждении высокоэнергетических ионов мишени, что характерно для лазерного метода приготовления МРЗ.