Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале Научная публикация
Журнал |
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
ISSN: 0370-274X |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2003, Том: 77, Номер: 1-2, Страницы: 85-88 Страниц : 4 | ||||||
Авторы |
|
||||||
Организации |
|
Реферат:
С помощью измерений рентгеновского диффузного рассеяния (РДР) проведено исследование корреляции шероховатостей соседних межслоевых границ (кросс-корреляция шероховатостей) в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале (МРЗ), приготовленном лазерным напылением. Измерения интенсивности РДР вблизи первого брэгговского отражения были выполнены в зависимости от энергии фотонов: чуть ниже (8.325 кэВ) и чуть выше (8.350 кэВ) К-края фотопоглощения никеля. Эффективная экранировка вклада нижних слоев в сечение РДР вследствие сильного затухания волнового поля при энергии фотонов выше края фотопоглощения позволила, при помощи таких сравнительных измерений, получить информацию о характере кросс-корреляции шероховатостей по глубине образца. В частности, при энергии фотонов 8.325 кэВ (вклад в сечение РДР от всего объема МРЗ) величина характерной латеральной длины корреляции шероховатости оказалась равной 0.35 мкм, а при энергии 8.350 кэВ (вклад преимущественно верхних слоев) она возрастала до 0.4 мкм. Эти данные являются прямым подтверждением механизма сглаживания межслойных шероховатостей в процессе роста Ni/C МРЗ в аномально больших пространственных масштабах вплоть до микронного. Оказалось, что только шероховатые крупномасштабные дефекты с размерами ≥10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Возможным объяснением наблюдаемого явления могут быть процессы вязкого растекания и (или) реиспарения при осаждении высокоэнергетических ионов мишени, что характерно для лазерного метода приготовления МРЗ.
Библиографическая ссылка:
Коваленко Н.В.
, Мытниченко С.В.
, Чернов В.А.
Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2003. Т.77. №1-2. С.85-88. РИНЦ
Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2003. Т.77. №1-2. С.85-88. РИНЦ
Переводная версия:
Kovalenko N.V.
, Mytnichenko S.V.
, Chernov V.A.
Smoothing of Interfacial Micron-Scale Roughness in a Ni/C X-ray Multilayer Mirror
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters (JETP Letters). 2003. V.77. N2. P.80-83. DOI: 10.1134/1.1564224 WOS Scopus РИНЦ
Smoothing of Interfacial Micron-Scale Roughness in a Ni/C X-ray Multilayer Mirror
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters (JETP Letters). 2003. V.77. N2. P.80-83. DOI: 10.1134/1.1564224 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 25 нояб. 2002 г. |
Опубликована в печати: | 1 янв. 2003 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 35444093 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 1 |