Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Разделы:

  • Статьи
  • Книги
  • Доклады на конференциях
  • Тезисы докладов
  • Патенты

Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале Научная публикация

Общая информация Язык: Русский, Жанр: Статья (Full article),
Статус опубликования: Опубликована, Оригинальность: Оригинальная
Журнал Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
ISSN: 0370-274X
Вых. Данные Год: 2003, Том: 77, Номер: 1-2, Страницы: 85-88 Страниц : 4
Авторы Коваленко Н.В. 1 , Мытниченко С.В. 2 , Чернов В.А. 3
Организации
1 Институт ядерной физики имени Г.И. Будкера СО РАН
2 Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
3 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН

Реферат: С помощью измерений рентгеновского диффузного рассеяния (РДР) проведено исследование корреляции шероховатостей соседних межслоевых границ (кросс-корреляция шероховатостей) в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале (МРЗ), приготовленном лазерным напылением. Измерения интенсивности РДР вблизи первого брэгговского отражения были выполнены в зависимости от энергии фотонов: чуть ниже (8.325 кэВ) и чуть выше (8.350 кэВ) К-края фотопоглощения никеля. Эффективная экранировка вклада нижних слоев в сечение РДР вследствие сильного затухания волнового поля при энергии фотонов выше края фотопоглощения позволила, при помощи таких сравнительных измерений, получить информацию о характере кросс-корреляции шероховатостей по глубине образца. В частности, при энергии фотонов 8.325 кэВ (вклад в сечение РДР от всего объема МРЗ) величина характерной латеральной длины корреляции шероховатости оказалась равной 0.35 мкм, а при энергии 8.350 кэВ (вклад преимущественно верхних слоев) она возрастала до 0.4 мкм. Эти данные являются прямым подтверждением механизма сглаживания межслойных шероховатостей в процессе роста Ni/C МРЗ в аномально больших пространственных масштабах вплоть до микронного. Оказалось, что только шероховатые крупномасштабные дефекты с размерами '='10 мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Возможным объяснением наблюдаемого явления могут быть процессы вязкого растекания и (или) реиспарения при осаждении высокоэнергетических ионов мишени, что характерно для лазерного метода приготовления МРЗ.
Библиографическая ссылка: Коваленко Н.В. , Мытниченко С.В. , Чернов В.А.
Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики. 2003. Т.77. №1-2. С.85-88. РИНЦ
Переводная версия: Kovalenko N.V. , Mytnichenko S.V. , Chernov V.A.
Smoothing of Interfacial Micron-Scale Roughness in a Ni/C X-ray Multilayer Mirror
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters (JETP Letters). 2003. V.77. N2. P.80-83. DOI: 10.1134/1.1564224 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: 25 нояб. 2002 г.
Идентификаторы:
РИНЦ 35444093