Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме Научная публикация
Журнал |
Фундаментальные проблемы современного материаловедения
ISSN: 1811-1416 |
||
---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2013, Том: 10, Номер: 2, Страницы: 194-199 Страниц : 6 | ||
Ключевые слова | термическое испарение, микрорельеф, структура, пленка титана, спектральная эллипсометрия | ||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Реферат:
В данной работе исследованы структура, микрорельеф и оптические свойства толстых непрозрачных пленок титана, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения. Исследования структуры методом дифракции электронов высокой энергии на отражение показали, что поверхностный слой пленок титана является аморфным. Исследования микрорельефа методом атомной силовой микроскопии показали, что поверхность пленок титана является достаточно гладкой с максимальным размером шероховатостей не превышающим 5-6 нм, в случае пленок нанесенных на плавленый кварц. Исследования оптических свойств пленок титана методом спектральной эллипсометрии позволили получить спектральные кривые показателя преломления, n (λ), и коэффициента поглощения, k (λ), в диапазоне длин 250-1100 нм. Полученные спектральные зависимости качественно соответствуют обычным кривым n( l ) и k( l ) для металлов.
Библиографическая ссылка:
Кочубей В.А.
, Атучин В.В.
, Кожухов А.С.
, Кручинин В.Н.
, Покровский Л.Д.
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2013. Т.10. №2. С.194-199. РИНЦ
Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок титана, полученных методом термического испарения в вакууме
Фундаментальные проблемы современного материаловедения. 2013. Т.10. №2. С.194-199. РИНЦ
Даты:
Принята к публикации: | 27 мая 2013 г. |
Идентификаторы БД:
РИНЦ | 18910323 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований