Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering Научная публикация
Журнал |
Optics and Spectroscopy
ISSN: 0030-400X , E-ISSN: 1562-6911 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2009, Том: 106, Номер: 1, Страницы: 72-77 Страниц : 6 DOI: 10.1134/S0030400X09010093 | ||||
Ключевые слова | Hafnium compoundsIon beams; Nitrides; Nitrogen; Optical properties; Photoelectron spectroscopy; Sputtering; Titanium; Titanium compounds; Titanium dioxide; Titanium nitride | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Реферат:
Optical characteristics of the HfO2 − x N x and TiO2 − x N x films obtained by reactive ion beam sputtering have been investigated by spectral ellipsometry. The chemical composition of the films was determined using X-ray photoelectron spectroscopy. The nitrogen content in the oxynitride films (determined by the N2/O2 ratio in the gas mixture during synthesis) reached ≈9 at % for TiO2 − x N x and ≈ 6 at % for HfO2 − x N x . It is found that the dispersion relations n(λ) and k(λ) for the TiO2 − x N x films change from those characteristic of titanium dioxide to those typical of titanium nitride with an increase in the nitrogen content from 0 to ≈9 at %. The optical parameters of the HfO2 − x N x films depend weakly on the nitrogen content in the range 0–6 at %.
Библиографическая ссылка:
Atuchin V.V.
, Kruchinin V.N.
, Kalinkin A.V.
, Aliev V.S.
, Rykhlitskii S.V.
, Shvets V.A.
, Spesivtsev E.V.
Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering
Optics and Spectroscopy. 2009. V.106. N1. P.72-77. DOI: 10.1134/S0030400X09010093 WOS Scopus РИНЦ
Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering
Optics and Spectroscopy. 2009. V.106. N1. P.72-77. DOI: 10.1134/S0030400X09010093 WOS Scopus РИНЦ
Оригинальная:
Атучин В.В.
, Кручинин В.Н.
, Калинкин А.В.
, Алиев В.Ш.
, Рыхлицкий С.В.
, Швец В.А.
, Спесивцев Е.В.
Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления
Оптика и спектроскопия. 2009. Т.106. №1. С.77-82. РИНЦ
Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления
Оптика и спектроскопия. 2009. Т.106. №1. С.77-82. РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 17 дек. 2007 г. |
Принята к публикации: | 29 авг. 2008 г. |
Опубликована в печати: | 1 янв. 2009 г. |
Опубликована online: | 4 февр. 2009 г. |
Идентификаторы БД:
Web of science | WOS:000263097000009 |
Scopus | 2-s2.0-59749086339 |
РИНЦ | 13612665 |
Chemical Abstracts | 2009:142213 |
Chemical Abstracts (print) | 151:346729 |
OpenAlex | W2773810700 |