Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
Научная публикация
| Общая информация |
Язык:
Русский,
Жанр:
Статья (Full article),
Статус опубликования:
Опубликована,
Оригинальность:
Оригинальная
|
| Журнал |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960
, E-ISSN: 0207-3528
|
| Вых. Данные |
Год: 2020,
Номер: 8,
Страницы: 108-112
Страниц
: 5
DOI:
10.31857/S1028096020080087
|
| Ключевые слова |
глубокая рентгеновская литография, поверхности, рентгеношаблоны, LIGA-технология |
| Авторы |
Генцелев А.Н.
1
,
Дульцев Ф.Н.
2,3
,
Гольденберг Б.Г.
1
,
Купер К.Э.
1
|
| Организации |
| 1 |
Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН
|
| 2 |
Новосибирский государственный университет
|
| 3 |
Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
|
|
Описан простой способ изготовления кремниевых рентгеновских шаблонов (рентгеношаблонов) для глубокой рентгеновской литографии, проводимой с использованием экспонирующего излучения спектрального диапазона (0.5–7 Å). Данный способ базируется на операциях планарной кремниевой технологии, широко распространенной в производстве полупроводниковых приборов. Существенным отличием этого способа от ранее известных аналогов является то, что в нем при формировании несущей мембраны шаблона не применяется создание легированием стоп-слоя. В качестве исходной заготовки используется стандартная кремниевая пластина ориентации (100) и кремниевая несущая мембрана шаблона формируется на финишном этапе его изготовления посредством плазмохимического травления пластины с тыльной стороны на заданную глубину. Такой подход позволяет существенно упростить технологию изготовления несущей мембраны. Изготовленные таким способом кремниевые рентгеношаблоны характеризуются относительной простотой изготовления, радиационной и химической стойкостью, геометрической стабильностью, сравнительно высокими уровнями механической прочности и рентгенопрозрачности несущей мембраны, зависящими от ее толщины, которая может варьироваться в достаточно широких пределах ~2.5–50 мкм в зависимости от предназначения рентгеновских шаблонов, которые могут с успехом применяться и в LIGA-технологии.