Многопучковая рентгенолитография для формирования глубоких регулярных микроструктур
Научная публикация
| Общая информация |
Язык:
Русский,
Жанр:
Статья (Full article),
Статус опубликования:
Опубликована,
Оригинальность:
Оригинальная
|
| Журнал |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960
, E-ISSN: 0207-3528
|
| Вых. Данные |
Год: 2016,
Номер: 1,
Страницы: 64–67
Страниц
: 4
DOI:
10.7868/S0207352816010133
|
| Ключевые слова |
регулярные микроструктуры, многопучковая рентгенолитография, рентгеношаблоны, синхротронное излучение |
| Авторы |
Гольденберг Б.Г.
1
,
Лемзяков А.Г.
1
,
Зелинский А.Г.
2
,
Назьмов В.П.
1
,
Пиндюрин В.Ф.
1
|
| Организации |
| 1 |
Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера СО РАН
|
| 2 |
Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН
|
|
Представлен метод изготовления регулярных микроструктур с высоким аспектным отношением
(например, рентгеновских решеток) посредством прямой многолучевой векторной записи в слоях
резиста SU8. Для записи использован рентгеновский пучок с длинами волн излучения в диапазоне
от 0.4 до 1.7 Å. Описаны особенности метода. В качестве готового продукта представлены образцы
регулярных микроструктур из резиста SU8 и рентгеношаблоны с золотым покрытием.