Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы Научная публикация
Журнал |
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
ISSN: 1028-0960 , E-ISSN: 0207-3528 |
||
---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 1989, Номер: 3, Страницы: 71-78 Страниц : 8 | ||
Ключевые слова | silica film vapor deposition structure property; deposition silica film chem vapor; structure silica film chem vapor deposition; porosity silica film chem vapor deposition; surface morphol silica film vapor deposition | ||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Носков А.Г.
, Горохов Е.Б.
, Цейтлин Г.М.
, Гаврилова Т.А.
, Дроздов В.Н.
, Зайковский В.И.
, Соколова Г.А.
, Стенин С.И.
Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. №3. С.71-78.
Структурные исследования пленок диоксида кремния, осажденных из газовой фазы
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 1989. №3. С.71-78.
Даты:
Поступила в редакцию: | 28 янв. 1988 г. |
Принята к публикации: | 21 мар. 1988 г. |
Опубликована в печати: | 1 мар. 1989 г. |
Идентификаторы БД:
Chemical Abstracts | 1989:415547 |
Chemical Abstracts (print) | 111:15547 |
Цитирование в БД:
Пока нет цитирований