Nanoscale Potential Fluctuation in Non-Stoichiometric Hafnium Suboxides Научная публикация
Конференция |
228th Fall Meeting of Electrochemical Society (ECS 2015 Phoenix) 11-15 окт. 2015 , Phoenix |
||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Журнал |
ECS Transactions
ISSN: 1938-5862 , E-ISSN: 1938-6737 |
||||||||
Вых. Данные | Год: 2015, Том: 69, Номер: 5, Страницы: 237-241 Страниц : 5 DOI: 10.1149/06905.0237ecst | ||||||||
Ключевые слова | Nanoelectronics; Spectroscopic ellipsometry; X ray photoelectron spectroscopy | ||||||||
Авторы |
|
||||||||
Организации |
|
Информация о финансировании (1)
1 | Российский научный фонд | 14-19-00192 |
Реферат:
We study the structure of nonstoichiometric HfOx films with variable composition using methods of X-ray photoelectron spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. HfOx, to a first approximation, is a mixture of HfO2 and Hf metal with a small amount (~10–15%) of hafnium sub-oxide HfOy (y < 2).
Библиографическая ссылка:
Orlov O.M.
, Krasnikov G.Y.
, Gritsenko V.A.
, Kruchinin V.N.
, Perevalov T.V.
, Aliev V.S.
, Islamov D.R.
, Prosvirin I.P.
Nanoscale Potential Fluctuation in Non-Stoichiometric Hafnium Suboxides
ECS Transactions. 2015. V.69. N5. P.237-241. DOI: 10.1149/06905.0237ecst Scopus РИНЦ
Nanoscale Potential Fluctuation in Non-Stoichiometric Hafnium Suboxides
ECS Transactions. 2015. V.69. N5. P.237-241. DOI: 10.1149/06905.0237ecst Scopus РИНЦ
Даты:
Опубликована в печати: | 2 окт. 2015 г. |
Опубликована online: | 2 окт. 2015 г. |
Идентификаторы БД:
Scopus | 2-s2.0-84946014022 |
РИНЦ | 24968127 |
Chemical Abstracts | 2017:450480 |
OpenAlex | W2226351772 |