Formation of Small Volatile Complexes During Copper Film Growth by the Combined Synthesis-Transport Method
Научная публикация
| Общее |
Язык:
Английский,
Жанр:
Статья (Full article),
Статус опубликования:
Опубликована,
Оригинальность:
Переводная
|
| Журнал |
Inorganic Materials
ISSN: 0020-1685
, E-ISSN: 1608-3172
|
| Вых. Данные |
Год: 2013,
Том: 49,
Номер: 8,
Страницы: 775-780
Страниц
: 6
DOI:
10.1134/S0020168513080013
|
| Авторы |
Badalyan A.M.
1
,
Polyakov M.S.
1
,
Kaichev V.V.
2
,
NadolinnyI V.A.
1
,
Igumenov I.K.
1
|
| Организации |
| 1 |
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН
|
| 2 |
Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН
|
|
Информация о финансировании (1)
|
1
|
Российский фонд фундаментальных исследований
|
12-03-01018
|
Stable heterogeneous synthesis products in combined synthesis-transport processes for the growth of thin copper films have been studied by ESR, X-ray photoelectron, and IR spectroscopies. The results demonstrate that the synthesized volatile compounds condensed on solid surfaces have the form of formate-like metal complexes of copper(I). We have identified the mechanisms underlying the formation of volatile monomeric metal complexes on the surface of copper-containing precursor particles and the mechanism of the thermal decomposition of metal complexes on a heated substrate.