Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе Научная публикация
Журнал |
Журнал структурной химии
ISSN: 0136-7463 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Вых. Данные | Год: 2012, Том: 53, Номер: 4, Страницы: 718-724 Страниц : 7 | ||||
Ключевые слова | диоксид гафния, бинарные растворы, "high-k"-диэлектрики | ||||
Авторы |
|
||||
Организации |
|
Информация о финансировании (9)
1 | Президиум РАН | 21 |
2 | Министерство образования и науки Российской Федерации | 16.518.11.7019 |
3 | Российский фонд фундаментальных исследований | 12-03-01039 (01201258422) |
4 | Российский фонд фундаментальных исследований | 12-03-01154 |
5 | Российский фонд фундаментальных исследований | 10-03-01005 |
6 | Российский фонд фундаментальных исследований | 08-03-92502 |
7 | Российский фонд фундаментальных исследований | 09-03-01012 |
8 | Сибирское отделение Российской академии наук | 98 |
9 | Президиум РАН | 20 |
Реферат:
Проведен анализ химического состава и структуры пленок HfO2 и двойных оксидов, формирующихся при их легировании алюминием и скандием. Показано, что легирование HfO2 алюминием приводит к аморфизации пленок: при концентрации Al больше 30 ат.% пленка становится аморфной. Легирование HfO2 скандием модифицирует моноклинную структуру и в области концентраций Sc от ~9 до ~14 ат.% Sc в неравновесных условиях CVD процесса при 600 °C формируется пленка твердого раствора орторомбической структуры.
Библиографическая ссылка:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
Переводная:
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
Даты:
Поступила в редакцию: | 25 окт. 2011 г. |
Идентификаторы БД:
Russian Science Citation Index (RSCI) | RSCI:17978402 |
РИНЦ | 17978402 |
Цитирование в БД:
БД | Цитирований |
---|---|
РИНЦ | 3 |