1
|
Kaichev V.V.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Ivanova E.V.
, Zamoryanskaya M.V.
, Saraev A.A.
, Pustovarov V.A.
, Perevalov T.V.
, Gritsenko V.A.
Structure, Chemistry and Luminescence Properties of Dielectric LaxHf1-xOy Films
Materials Chemistry and Physics. 2016.
V.175. P.200-205. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2016.03.019
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014.
V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X
РИНЦ
|
4
|
Kaichev V.V.
, Ivanova E.V.
, Zamoryanskaya M.V.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Gritsenko V.A.
XPS and Cathodoluminescence Studies of HfO2, Sc2O3 and (HfO2)1-x(Sc2O3)x Films
The European Physical Journal - Applied Physics. 2013.
V.64. N1. P.10302-1-4. DOI: 10.1051/epjap/2013130005
WOS
Scopus
РИНЦ
|
5
|
Яковкина Л.В.
, Смирнова Т.П.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147
РИНЦ
|
6
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
, Борисов В.О.
, Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Глава монографии
Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники.
– Изд-во СО РАН.,
2013.
– Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
|
7
|
Yakovkina L.V.
, Smirnova T.P.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.718-724.
RSCI
РИНЦ
|
9
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130
WOS
Scopus
РИНЦ
|
10
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Beloshapkin S.A.
, Kaichev V.V.
, Alferova N.I.
, Jeong-Hwan S.
Interfaces Analysis of the HfO2/SiO2/Si Structure
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2010.
V.71. N5. P.836-840. DOI: 10.1016/j.jpcs.2010.02.010
WOS
Scopus
РИНЦ
|
11
|
Smirnova T.P.
, Kuznetsov F.A.
, Yakovkina L.
, Kaichev V.
, Kosyakov V.
, Lebedev M.
, Kichai V.
HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics
ECS Transactions. 2009.
V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680
WOS
Scopus
РИНЦ
|
12
|
Расторгуев А.А.
, Белый В.И.
, Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции
Журнал структурной химии. 2008.
Т.49. №1. С.27-36.
РИНЦ
|
13
|
Rastorguev A.A.
, Belyi V.I.
, Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008.
V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
14
|
Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Yakovkina L.V.
, Kosyakov V.I.
, Beloshapkin S.A.
, Kuznetsov F.A.
, Lebedev M.S.
, Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124
WOS
Scopus
РИНЦ
|
15
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Kitchai V.N.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008.
V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123
WOS
Scopus
РИНЦ
|
16
|
Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Яковкина Л.В.
, Косяков В.И.
, Белошапкин С.А.
, Кузнецов Ф.А.
, Лебедев М.С.
, Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №9. С.1086-1092.
РИНЦ
|
17
|
Yakovkina L.V.
, Kichai V.N.
, Smirnova T.P.
, Kaichev V.V.
, Shubin Y.V.
, Morozova N.B.
, Zherikova K.V.
, Igumenov I.K.
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8
WOS
Scopus
РИНЦ
|
18
|
Яковкина Л.В.
, Кичай В.Н.
, Смирнова Т.П.
, Каичев В.В.
, Шубин Ю.В.
, Морозова Н.Б.
, Жерикова К.В.
, Игуменов И.К.
Получение и свойства тонких пленок HfO2
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №12. С.1474-1479.
RSCI
РИНЦ
|
19
|
Smirnova T.P.
, Badalian A.M.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Bukhtiyarov V.I.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Rachlin V.I.
, Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
20
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|