1
|
Smirnova T.P.
, Saraev A.A.
, Korolkov I.V.
, Kitchai V.N.
, Borisov V.O.
The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System
Journal of Crystal Growth. 2019.
V.523. 125156
:1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014.
V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X
РИНЦ
|
4
|
Яковкина Л.В.
, Смирнова Т.П.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147
РИНЦ
|
5
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Лебедев М.С.
, Кичай В.Н.
, Борисов В.О.
, Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Глава монографии
Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники.
– Изд-во СО РАН.,
2013.
– Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.
|
6
|
Yakovkina L.V.
, Smirnova T.P.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234
WOS
Scopus
РИНЦ
|
7
|
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Борисов В.О.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.718-724.
RSCI
РИНЦ
|
8
|
Smirnova T.P.
, Yakovkina L.V.
, Borisov V.O.
, Kichai V.N.
, Kaichev V.V.
, Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Bakhturova L.F.
, Kaichev V.V.
, Podgorbunskaya T.A.
, Rakhlin V.I.
Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091
WOS
Scopus
РИНЦ
|
10
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Бахтурова Л.Ф.
, Каичев В.В.
, Подгорбунская Т.А.
, Рахлин В.И.
Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №12. С.1453-1460.
РИНЦ
|
11
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Kaichev V.V.
, Bakhturova L.F.
, Kichai V.N.
, Rakhlin V.I.
, Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
12
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Кичай В.Н.
, Рахлин В.И.
, Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
13
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Каичев В.В.
, Бахтурова Л.Ф.
, Рахлин В.И.
, Воронков М.Г.
, Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004.
Т.7. С.1607-1615.
РИНЦ
|
14
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
15
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
16
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Yakovkina L.V.
, Shmakov A.N.
, Asanov I.P.
, Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003.
V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997
WOS
Scopus
РИНЦ
|
17
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Борисов В.О.
, Яковкина Л.В.
, Каичев В.В.
, Шмаков А.Н.
, Нартова А.В.
, Рахлин В.И.
, Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
18
|
Смирнова Т.П.
, Бадалян А.М.
, Яковкина Л.В.
, Шмаков А.Н.
, Асанов И.П.
, Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003.
Т.39. №2. С.163-169.
РИНЦ
|
19
|
Smirnova T.P.
, Badalyan A.M.
, Borisov V.O.
, Yakovkina L.V.
, Kaichev V.V.
, Shmakov A.N.
, Nartova A.V.
, Rakhlin V.I.
, Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|