1
|
Gentselev A.N.
, Dultsev F.N.
, Goldenberg B.G.
, Kuper K.E.
Method for Manufacturing Silicon X-Ray Masks Via Plasma Chemical Etching
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2020.
V.14. N4. P.862-865. DOI: 10.1134/s1027451020040266
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Генцелев А.Н.
, Дульцев Ф.Н.
, Гольденберг Б.Г.
, Купер К.Э.
Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2020.
№8. С.108-112. DOI: 10.31857/S1028096020080087
РИНЦ
|
3
|
Генцелев А.Н.
, Гольденберг Б.Г.
, Лемзяков А.Г.
Рентгеношаблоны с многослойной несущей мембраной
Прикладная физика. 2020.
№5. С.109-115.
РИНЦ
|
4
|
Gentselev A.N.
, Kuznetsov S.A.
, Dultsev F.N.
, Goldenberg B.G.
, Zelinsky A.G.
, Kondratyev V.I.
, Tanygina D.S.
Implementation of Terahertz High-Pass Filters Based on All-Metal Microstructures using Deep X-ray Lithography
Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2019.
V.55. N2. P.115–125. DOI: 10.3103/S875669901902002X
WOS
Scopus
РИНЦ
|
5
|
Генцелев А.Н.
, Кузнецов С.А.
, Дульцев Ф.Н.
, Гольденберг Б.Г.
, Зелинский А.Г.
, Кондратьев В.И.
, Таныгина Д.С.
Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии
Автометрия. 2019.
Т.55. №2. С.14-27. DOI: 10.15372/AUT20190202
РИНЦ
|
6
|
Генцелев А.Н.
, Кузнецов С.А.
, Баев С.Г.
, Гольденберг Б.Г.
, Лоншаков Е.А.
Создание квазиоптических селективных элементов терагерцового диапазона в виде псевдометаллических структур посредством глубокой рентгеновской литографии
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017.
№7. С.32-42. DOI: 10.7868/s0207352817070071
РИНЦ
|
7
|
Gentselev A.N.
, Kuznetsov S.A.
, Baev S.G.
, Goldenberg B.G.
, Lonshakov E.A.
Fabrication of Quasi-Optical Selective Elements for the Terahertz Range in the Form of Pseudometallic Structures Via Deep X-ray Lithography
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2017.
V.11. N4. P.710–720. DOI: 10.1134/S1027451017040073
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Ancharov A.I.
, Baryshev V.B.
, Chernov V.A.
, Gentselev A.N.
, Goldenberg B.G.
, Kochubey D.I.
, Korchuganov V.N.
, Kulipanov G.N.
, Kuzin M.V.
, Levichev E.B.
, Mezentsev N.A.
, Mishnev S.I.
, Nikolenko A.D.
, Panchenko V.E.
, Pindyurin V.F.
, Sheromov M.A.
, Tolochko B.P.
, Sharafutdinov M.R.
, Shmakov A.N.
, Vinokurov N.A.
, Vobly P.D.
, Zolotarev K.V.
Erratum: Status of the Siberian Synchrotron Radiation Center (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2005) 543 (1) DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.021)
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A. 2006.
V.556. N2. P.645-645.
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Ancharov A.I.
, Baryshev V.B.
, Chernov V.A.
, Gentselev A.N.
, Goldenberg B.G.
, Kochubei D.I.
, Korchuganov V.N.
, Kulipanov G.N.
, Kuzin M.V.
, Levichev E.B.
, Mezentsev N.A.
, Mishnev S.I.
, Nikolenko A.D.
, Pindyurin V.F.
, Sheromov M.A.
, Tolochko B.P.
, Sharafutdinov M.R.
, Shmakov A.N.
, Vinokurov N.A.
, Vobly P.D.
, Zolotarev K.V.
Status of the Siberian Synchrotron Radiation Center
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A. 2005.
V.543. N1. P.1-13. DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.021
WOS
Scopus
РИНЦ
|