ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния Доклады на конференциях
Язык | Русский | ||
---|---|---|---|
Тип доклада | Стендовый | ||
Конференция |
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 июн. 2011 , Москва |
||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Сайко А.В.
, Цыганкова А.Р.
, Сапрыкин А.И.
ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 июн. 2011
ИСП-АЭС анализ высокочистого кремния
VIII Международная конференция и VII Школа ученых и молодых специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, наноразмерных структур и приборов на его основе «КРЕМНИЙ 2011» 05-08 июн. 2011