Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок» Доклады на конференциях
Язык | Русский | ||
---|---|---|---|
Тип доклада | Пленарный | ||
Конференция |
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 февр. 2017 , Новосибирск |
||
Авторы |
|
||
Организации |
|
Библиографическая ссылка:
Малахов В.В.
Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок»
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 февр. 2017
Стехиография в исследовании пространственной неоднородности химического состава и структуры тонких пленок»
Четвертый семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы «Кузнецовские чтения-2017» 01-03 февр. 2017