Sciact
Toggle navigation
  • EN
  • RU

Борисов Виктор Одиссеевич

Аффилиации

# Название Период Количество
1 Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН grid.425759.8 2003 - 2019 21

Научная деятельность

Статьи в журналах - 18 , Главы монографий - 1 , Доклады на конференциях - 1

Статьи в журналах (18) Подробнее

1 Smirnova T.P. , Saraev A.A. , Korolkov I.V. , Kitchai V.N. , Borisov V.O.
The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System
Journal of Crystal Growth. 2019. V.523. 125156 :1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156 WOS Scopus РИНЦ
2 Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. , Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014. V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162 WOS Scopus РИНЦ
3 Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014. Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X РИНЦ
4 Яковкина Л.В. , Смирнова Т.П. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013. Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147 РИНЦ
5 Yakovkina L.V. , Smirnova T.P. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013. V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234 WOS Scopus РИНЦ
6 Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
7 Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. , Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
8 Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Bakhturova L.F. , Kaichev V.V. , Podgorbunskaya T.A. , Rakhlin V.I.
Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane
Inorganic Materials. 2008. V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091 WOS Scopus РИНЦ
9 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Бахтурова Л.Ф. , Каичев В.В. , Подгорбунская Т.А. , Рахлин В.И.
Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана
Неорганические материалы. 2008. Т.44. №12. С.1453-1460. РИНЦ
10 Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Kaichev V.V. , Bakhturova L.F. , Kichai V.N. , Rakhlin V.I. , Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005. V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9 WOS Scopus РИНЦ
11 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Каичев В.В. , Бахтурова Л.Ф. , Кичай В.Н. , Рахлин В.И. , Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005. Т.41. №7. С.808-815. RSCI РИНЦ
12 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Каичев В.В. , Бахтурова Л.Ф. , Рахлин В.И. , Воронков М.Г. , Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004. Т.7. С.1607-1615. РИНЦ
13 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Шмаков А.Н. , Нартова А.В. , Рахлин В.И. , Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003. Т.44. №1. С.195-199. РИНЦ
14 Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Yakovkina L.V. , Kaichev V.V. , Shmakov A.N. , Nartova A.V. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003. V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950 WOS Scopus РИНЦ
15 Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Yakovkina L.V. , Kaichev V.V. , Shmakov A.N. , Nartova A.V. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003. V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352 WOS Scopus РИНЦ
16 Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Yakovkina L.V. , Shmakov A.N. , Asanov I.P. , Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003. V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997 WOS Scopus РИНЦ
17 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Шмаков А.Н. , Нартова А.В. , Рахлин В.И. , Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003. Т.37. №5. С.348-354. РИНЦ
18 Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Яковкина Л.В. , Шмаков А.Н. , Асанов И.П. , Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003. Т.39. №2. С.163-169. РИНЦ

Главы монографий (1) Подробнее

1 Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Лебедев М.С. , Кичай В.Н. , Борисов В.О. , Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Глава монографии Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники. – Изд-во СО РАН., 2013. – Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.

Доклады на конференциях (1) Подробнее

1 Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Волчок Н.Д. , Каичев В.В. , Сараев А.А.
Фазообразование в наноразмерных системах HfO2-RE2O3
Всероссийская научная конференция с международным участием «Второй Байкальский материаловедческий форум» 29 Jun - 5 Jul 2015