1
|
Geng H.
,
Lin T.
,
Letha A.J.
,
Hwang H-L.
,
Kyznetsov F.A.
,
Smirnova T.P.
,
Saraev A.A.
,
Kaichev V.V.
Advanced Passivation Techniques for Si Solar Cells with High-κ Dielectric Materials
Applied Physics Letters. 2014.
V.105. N12. P.123905. DOI: 10.1063/1.4896619
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Smirnova T.P.
,
Kuznetsov F.A.
,
Yakovkina L.
,
Kaichev V.
,
Kosyakov V.
,
Lebedev M.
,
Kichai V.
HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics
ECS Transactions. 2009.
V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Smirnova T.P.
,
Kaichev V.V.
,
Yakovkina L.V.
,
Kosyakov V.I.
,
Beloshapkin S.A.
,
Kuznetsov F.A.
,
Lebedev M.S.
,
Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124
WOS
Scopus
РИНЦ
|
4
|
Смирнова Т.П.
,
Каичев В.В.
,
Яковкина Л.В.
,
Косяков В.И.
,
Белошапкин С.А.
,
Кузнецов Ф.А.
,
Лебедев М.С.
,
Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №9. С.1086-1092.
РИНЦ
|
5
|
Kosinova M.L.
,
Rumyantsev Y.M.
,
Golubenko A.N.
,
Fainer N.I.
,
Ayupov B.M.
,
Dolgovesova I.P.
,
Kolesov B.A.
,
Kaichev V.V.
,
Kuznetsov F.A.
Chemical Composition of Boron Carbonitride Films Grown by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
from Trimethylamineborane
Inorganic Materials. 2003.
V.39. N4. P.366-373. DOI: 10.1023/A:1023227716045
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Косинова М.Л.
,
Румянцев Ю.М.
,
Голубенко А.Н.
,
Файнер Н.И.
,
Аюпов Б.М.
,
Долговесова И.П.
,
Колесов Б.А.
,
Каичев В.В.
,
Кузнецов Ф.А.
Химический состав пленок BCxNy, полученных плазмохимическим разложением триметиламинборана
Неорганические материалы. 2003.
Т.39. №4. С.447-455.
РИНЦ
|