1
|
Gentselev A.N.
,
Dultsev F.N.
,
Goldenberg B.G.
,
Kuper K.E.
Method for Manufacturing Silicon X-Ray Masks Via Plasma Chemical Etching
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2020.
V.14. N4. P.862-865. DOI: 10.1134/s1027451020040266
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Генцелев А.Н.
,
Дульцев Ф.Н.
,
Гольденберг Б.Г.
,
Купер К.Э.
Способ изготовления кремниевых рентгеношаблонов с использованием плазмохимического травления
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2020.
№8. С.108-112. DOI: 10.31857/S1028096020080087
РИНЦ
|
3
|
Генцелев А.Н.
,
Гольденберг Б.Г.
,
Лемзяков А.Г.
Рентгеношаблоны с многослойной несущей мембраной
Прикладная физика. 2020.
№5. С.109-115.
РИНЦ
|
4
|
Gentselev A.N.
,
Kuznetsov S.A.
,
Dultsev F.N.
,
Goldenberg B.G.
,
Zelinsky A.G.
,
Kondratyev V.I.
,
Tanygina D.S.
Implementation of Terahertz High-Pass Filters Based on All-Metal Microstructures using Deep X-ray Lithography
Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2019.
V.55. N2. P.115–125. DOI: 10.3103/S875669901902002X
WOS
Scopus
РИНЦ
|
5
|
Генцелев А.Н.
,
Кузнецов С.А.
,
Дульцев Ф.Н.
,
Гольденберг Б.Г.
,
Зелинский А.Г.
,
Кондратьев В.И.
,
Таныгина Д.С.
Реализация терагерцовых фильтров высоких частот на основе цельнометаллических микроструктур с использованием глубокой рентгенолитографии
Автометрия. 2019.
Т.55. №2. С.14-27. DOI: 10.15372/AUT20190202
РИНЦ
|
6
|
Генцелев А.Н.
,
Кузнецов С.А.
,
Баев С.Г.
,
Гольденберг Б.Г.
,
Лоншаков Е.А.
Создание квазиоптических селективных элементов терагерцового диапазона в виде псевдометаллических структур посредством глубокой рентгеновской литографии
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017.
№7. С.32-42. DOI: 10.7868/s0207352817070071
РИНЦ
|
7
|
Gentselev A.N.
,
Kuznetsov S.A.
,
Baev S.G.
,
Goldenberg B.G.
,
Lonshakov E.A.
Fabrication of Quasi-Optical Selective Elements for the Terahertz Range in the Form of Pseudometallic Structures Via Deep X-ray Lithography
Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2017.
V.11. N4. P.710–720. DOI: 10.1134/S1027451017040073
WOS
Scopus
РИНЦ
|
8
|
Ancharov A.I.
,
Baryshev V.B.
,
Chernov V.A.
,
Gentselev A.N.
,
Goldenberg B.G.
,
Kochubey D.I.
,
Korchuganov V.N.
,
Kulipanov G.N.
,
Kuzin M.V.
,
Levichev E.B.
,
Mezentsev N.A.
,
Mishnev S.I.
,
Nikolenko A.D.
,
Panchenko V.E.
,
Pindyurin V.F.
,
Sheromov M.A.
,
Tolochko B.P.
,
Sharafutdinov M.R.
,
Shmakov A.N.
,
Vinokurov N.A.
,
Vobly P.D.
,
Zolotarev K.V.
Erratum: Status of the Siberian Synchrotron Radiation Center (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2005) 543 (1) DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.021)
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A. 2006.
V.556. N2. P.645-645.
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Ancharov A.I.
,
Baryshev V.B.
,
Chernov V.A.
,
Gentselev A.N.
,
Goldenberg B.G.
,
Kochubei D.I.
,
Korchuganov V.N.
,
Kulipanov G.N.
,
Kuzin M.V.
,
Levichev E.B.
,
Mezentsev N.A.
,
Mishnev S.I.
,
Nikolenko A.D.
,
Pindyurin V.F.
,
Sheromov M.A.
,
Tolochko B.P.
,
Sharafutdinov M.R.
,
Shmakov A.N.
,
Vinokurov N.A.
,
Vobly P.D.
,
Zolotarev K.V.
Status of the Siberian Synchrotron Radiation Center
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A. 2005.
V.543. N1. P.1-13. DOI: 10.1016/j.nima.2005.01.021
WOS
Scopus
РИНЦ
|