|
2
|
Иванов Ю.Ф.
,
Коваль Н.Н.
,
Крысина О.В.
,
Баумбах Т.
,
Дойль С.
,
Слободский Т.
,
Тимченко Н.А.
,
Галимов Р.М.
,
Чернов И.П.
,
Шмаков А.Н.
Исследование влияния примесей на синтез нанокристаллических слоев нитрида титана из плазмы электродугового разряда
Известия высших учебных заведений. Физика. 2010.
Т.53. №3-2. С.119-124.
РИНЦ
|