1
|
Smirnova T.P.
,
Saraev A.A.
,
Korolkov I.V.
,
Kitchai V.N.
,
Borisov V.O.
The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System
Journal of Crystal Growth. 2019.
V.523. 125156
:1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156
WOS
Scopus
РИНЦ
|
2
|
Kaichev V.V.
,
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Ivanova E.V.
,
Zamoryanskaya M.V.
,
Saraev A.A.
,
Pustovarov V.A.
,
Perevalov T.V.
,
Gritsenko V.A.
Structure, Chemistry and Luminescence Properties of Dielectric LaxHf1-xOy Films
Materials Chemistry and Physics. 2016.
V.175. P.200-205. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2016.03.019
WOS
Scopus
РИНЦ
|
3
|
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Borisov V.O.
,
Kichai V.N.
,
Kaichev V.V.
,
Saraev A.A.
Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si
Inorganic Materials. 2014.
V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162
WOS
Scopus
РИНЦ
|
4
|
Смирнова Т.П.
,
Яковкина Л.В.
,
Борисов В.О.
,
Кичай В.Н.
,
Каичев В.В.
,
Сараев А.А.
Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si
Неорганические материалы. 2014.
Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X
РИНЦ
|
5
|
Geng H.
,
Lin T.
,
Letha A.J.
,
Hwang H-L.
,
Kyznetsov F.A.
,
Smirnova T.P.
,
Saraev A.A.
,
Kaichev V.V.
Advanced Passivation Techniques for Si Solar Cells with High-κ Dielectric Materials
Applied Physics Letters. 2014.
V.105. N12. P.123905. DOI: 10.1063/1.4896619
WOS
Scopus
РИНЦ
|
6
|
Kaichev V.V.
,
Ivanova E.V.
,
Zamoryanskaya M.V.
,
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Gritsenko V.A.
XPS and Cathodoluminescence Studies of HfO2, Sc2O3 and (HfO2)1-x(Sc2O3)x Films
The European Physical Journal - Applied Physics. 2013.
V.64. N1. P.10302-1-4. DOI: 10.1051/epjap/2013130005
WOS
Scopus
РИНЦ
|
7
|
Яковкина Л.В.
,
Смирнова Т.П.
,
Борисов В.О.
,
Кичай В.Н.
,
Каичев В.В.
Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x
Неорганические материалы. 2013.
Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147
РИНЦ
|
8
|
Yakovkina L.V.
,
Smirnova T.P.
,
Borisov V.O.
,
Kichai V.N.
,
Kaichev V.V.
Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films
Inorganic Materials. 2013.
V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234
WOS
Scopus
РИНЦ
|
9
|
Смирнова Т.П.
,
Яковкина Л.В.
,
Борисов В.О.
,
Кичай В.Н.
,
Каичев В.В.
,
Кривенцов В.В.
Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе
Журнал структурной химии. 2012.
Т.53. №4. С.718-724.
RSCI
РИНЦ
|
10
|
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Borisov V.O.
,
Kichai V.N.
,
Kaichev V.V.
,
Kriventsov V.V.
Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base
Journal of Structural Chemistry. 2012.
V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130
WOS
Scopus
РИНЦ
|
11
|
Каичев В.В.
,
Дубинин Ю.В.
,
Смирнова Т.П.
,
Лебедев М.С.
Изучение структуры пленок (HfO2)x(Al2O3)1–x/Si методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии
Журнал структурной химии. 2011.
Т.52. №3. С.495-502.
RSCI
РИНЦ
|
12
|
Kaichev V.V.
,
Dubinin Y.V.
,
Smirnova T.P.
,
Lebedev M.S.
A Study of the Structure of (HfO2 ) x (Al2 O3)1−x /Si Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy
Journal of Structural Chemistry. 2011.
V.52. N3. P.480-487. DOI: 10.1134/S002247661103005X
WOS
Scopus
РИНЦ
|
13
|
Smirnova T.P.
,
Lebedev M.S.
,
Morozova N.B.
,
Semyannikov P.P.
,
Zherikova K.V.
,
Kaichev V.V.
,
Dubinin Y.V.
MOCVD and Physicochemical Characterization of (HfO2)x(Al2O3)1-x Thin Films
Chemical Vapor Deposition. 2010.
V.16. N4-6. P.185-190. DOI: 10.1002/cvde.201006840
WOS
Scopus
РИНЦ
|
14
|
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Beloshapkin S.A.
,
Kaichev V.V.
,
Alferova N.I.
,
Jeong-Hwan S.
Interfaces Analysis of the HfO2/SiO2/Si Structure
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2010.
V.71. N5. P.836-840. DOI: 10.1016/j.jpcs.2010.02.010
WOS
Scopus
РИНЦ
|
15
|
Smirnova T.P.
,
Kuznetsov F.A.
,
Yakovkina L.
,
Kaichev V.
,
Kosyakov V.
,
Lebedev M.
,
Kichai V.
HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics
ECS Transactions. 2009.
V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680
WOS
Scopus
РИНЦ
|
16
|
Lebedev M.S.
,
Smirnova T.P.
,
Kaichev V.V.
Thin Films of (HfO2)x(Al2O 3)1-x Alloys: Preparation, Chemical Structure and Dielectric Properties
International Workshop and Tutorials on Electron Devices and Materials, EDM - Proceedings. 2009.
P.32-36. DOI: 10.1109/EDM.2009.5173920
WOS
Scopus
РИНЦ
|
17
|
Rastorguev A.A.
,
Belyi V.I.
,
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films
Journal of Structural Chemistry. 2008.
V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
18
|
Расторгуев А.А.
,
Белый В.И.
,
Смирнова Т.П.
,
Яковкина Л.В.
Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции
Журнал структурной химии. 2008.
Т.49. №1. С.27-36.
РИНЦ
|
19
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Borisov V.O.
,
Bakhturova L.F.
,
Kaichev V.V.
,
Podgorbunskaya T.A.
,
Rakhlin V.I.
Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091
WOS
Scopus
РИНЦ
|
20
|
Smirnova T.P.
,
Kaichev V.V.
,
Yakovkina L.V.
,
Kosyakov V.I.
,
Beloshapkin S.A.
,
Kuznetsov F.A.
,
Lebedev M.S.
,
Gritsenko V.A.
Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon
Inorganic Materials. 2008.
V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124
WOS
Scopus
РИНЦ
|
21
|
Smirnova T.P.
,
Yakovkina L.V.
,
Kitchai V.N.
,
Kaichev V.V.
,
Shubin Y.V.
,
Morozova N.B.
,
Zherikova K.V.
Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films
Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008.
V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123
WOS
Scopus
РИНЦ
|
22
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Борисов В.О.
,
Бахтурова Л.Ф.
,
Каичев В.В.
,
Подгорбунская Т.А.
,
Рахлин В.И.
Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №12. С.1453-1460.
РИНЦ
|
23
|
Смирнова Т.П.
,
Каичев В.В.
,
Яковкина Л.В.
,
Косяков В.И.
,
Белошапкин С.А.
,
Кузнецов Ф.А.
,
Лебедев М.С.
,
Гриценко В.А.
Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии
Неорганические материалы. 2008.
Т.44. №9. С.1086-1092.
РИНЦ
|
24
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Borisov V.O.
,
Kaichev V.V.
,
Bakhturova L.F.
,
Kichai V.N.
,
Rakhlin V.I.
,
Shainyan B.A.
Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9
WOS
Scopus
РИНЦ
|
25
|
Yakovkina L.V.
,
Kichai V.N.
,
Smirnova T.P.
,
Kaichev V.V.
,
Shubin Y.V.
,
Morozova N.B.
,
Zherikova K.V.
,
Igumenov I.K.
Preparation and Properties of Thin HfO2 Films
Inorganic Materials. 2005.
V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8
WOS
Scopus
РИНЦ
|
26
|
Яковкина Л.В.
,
Кичай В.Н.
,
Смирнова Т.П.
,
Каичев В.В.
,
Шубин Ю.В.
,
Морозова Н.Б.
,
Жерикова К.В.
,
Игуменов И.К.
Получение и свойства тонких пленок HfO2
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №12. С.1474-1479.
RSCI
РИНЦ
|
27
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Борисов В.О.
,
Каичев В.В.
,
Бахтурова Л.Ф.
,
Кичай В.Н.
,
Рахлин В.И.
,
Шаинян Б.А.
Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния
Неорганические материалы. 2005.
Т.41. №7. С.808-815.
RSCI
РИНЦ
|
28
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Борисов В.О.
,
Каичев В.В.
,
Бахтурова Л.Ф.
,
Рахлин В.И.
,
Воронков М.Г.
,
Мирсков Р.Г.
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Исследовано в России. 2004.
Т.7. С.1607-1615.
РИНЦ
|
29
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Борисов В.О.
,
Яковкина Л.В.
,
Каичев В.В.
,
Шмаков А.Н.
,
Нартова А.В.
,
Рахлин В.И.
,
Фомина А.Н.
Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом
плазмохимического осаждения из газовой фазы
Журнал структурной химии. 2003.
Т.44. №1. С.195-199.
РИНЦ
|
30
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Borisov V.O.
,
Yakovkina L.V.
,
Kaichev V.V.
,
Shmakov A.N.
,
Nartova A.V.
,
Rakhlin V.I.
,
Fomina A.N.
Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2003.
V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950
WOS
Scopus
РИНЦ
|
31
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Borisov V.O.
,
Yakovkina L.V.
,
Kaichev V.V.
,
Shmakov A.N.
,
Nartova A.V.
,
Rakhlin V.I.
,
Fomina A.N.
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine
High Energy Chemistry. 2003.
V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352
WOS
Scopus
РИНЦ
|
32
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Yakovkina L.V.
,
Shmakov A.N.
,
Asanov I.P.
,
Borisov V.O.
Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine
Inorganic Materials. 2003.
V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997
WOS
Scopus
РИНЦ
|
33
|
Smirnova T.P.
,
Badalian A.M.
,
Yakovkina L.V.
,
Kaichev V.V.
,
Bukhtiyarov V.I.
,
Shmakov A.N.
,
Asanov I.P.
,
Rachlin V.I.
,
Fomina A.N.
SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors
Thin Solid Films. 2003.
V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5
WOS
Scopus
РИНЦ
|
34
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Борисов В.О.
,
Яковкина Л.В.
,
Каичев В.В.
,
Шмаков А.Н.
,
Нартова А.В.
,
Рахлин В.И.
,
Фомина А.Н.
Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина
Химия высоких энергий. 2003.
Т.37. №5. С.348-354.
РИНЦ
|
35
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Яковкина Л.В.
,
Шмаков А.Н.
,
Асанов И.П.
,
Борисов В.О.
Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина
Неорганические материалы. 2003.
Т.39. №2. С.163-169.
РИНЦ
|
36
|
Badalyan A.M.
,
Belyi V.I.
,
Gel'fond N.V.
,
Igumenov I.K.
,
Kosinova M.L.
,
Morozova N.B.
,
Rastorguev A.A.
,
Rumyantsev Y.M.
,
Smirnova T.P.
,
Fainer N.I.
,
Yakovkina L.V.
Chemical Composition and Structure of Thin Films Produced by Chemical Vapor Deposition
Journal of Structural Chemistry. 2002.
V.43. N4. P.556-580. DOI: 10.1023/A:1022084017202
WOS
Scopus
РИНЦ
|
37
|
Smirnova T.P.
,
Badalyan A.M.
,
Yakovkina L.V.
,
Sysoeva N.P.
,
Asanov I.P.
,
Kaichev V.V.
,
Bukhtiyarov V.I.
,
Shmakov A.N.
,
Rakhlin V.I.
,
Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources
Chemistry for Sustainable Development. 2001.
V.9. N7. P.23-29.
РИНЦ
|
38
|
Смирнова Т.П.
,
Бадалян А.М.
,
Яковкина Л.В.
,
Сысоева Н.П.
,
Асанов И.П.
,
Каичев В.В.
,
Бухтияров В.И.
,
Шмаков А.Н.
,
Рахлин В.И.
,
Фомина А.Н.
Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников
Химия в интересах устойчивого развития. 2001.
Т.9. №7. С.857-864.
РИНЦ
|
39
|
Смирнова Т.П.
,
Яковкина Л.В.
,
Бадалян А.М.
,
Кичай В.Н.
,
Каичев В.В.
,
Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000.
Т.8. №5. С.731-738.
РИНЦ
|
40
|
Smirnova T.P.
,
Jakovkina L.V.
,
Jashkin I.L.
,
Sysoeva N.P.
,
Amosov J.I.
Boron Nitride Films Prepared by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition from Borazine (B3N3H6)
Thin Solid Films. 1994.
V.237. N1-2. P.32-37. DOI: 10.1016/0040-6090(94)90235-6
WOS
Scopus
РИНЦ
|
41
|
Захарчук Н.Ф.
,
Валишева Н.А.
,
Лелькин К.П.
,
Смирнова Т.П.
,
Юделевич И.Г.
,
Белый В.И.
,
Зенковец Г.А.
Фазовый анализ окисных слоев антимонида индия методом вольтамперметрии на угольно-пастовом электроде. II. Электропревращение окислов сурьмы
Известия Сибирского отделения Академии наук СССР. Серия химических наук. 1980.
№2. С.45-53.
РИНЦ
|
42
|
Захарчук Н.Ф.
,
Валишева Н.А.
,
Лелькин К.П.
,
Смирнова Т.П.
,
Юделевич И.Г.
,
Белый В.И.
,
Зенковец Г.А.
Фазовый анализ окисных слоев антимонида индия методом вольтамперметрии на угольно-пастовом электроде. I. Электропревращения сурьмы и некоторые соединения сурьмы с индием (InSb, InSbO4)
Известия Сибирского отделения Академии наук СССР. Серия химических наук. 1980.
№2. С.39-45.
РИНЦ
|