Смирнова Тамара Павловна

Внешние ссылки

РИНЦ ID: 43253

Аффилиации

#	Название	Период	Количество
1	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН	1994 - 2019	43
2	Национальный исследовательский Томский государственный университет	2008	1

Научная деятельность

Статьи в журналах - 40 , Главы монографий - 1 , Статьи в сборниках - 1 , Тезисы докладов - 1 , Книги - 1 , Доклады на конференциях - 2

Статьи в журналах (40) Подробнее

1	Smirnova T.P. , Saraev A.A. , Korolkov I.V. , Kitchai V.N. , Borisov V.O. The Crystal Structure of Solid Solutions Formed in the HfO2-Sc2O3 Nanoscale System Journal of Crystal Growth. 2019. V.523. 125156 :1-7. DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2019.125156 WOS Scopus РИНЦ
2	Kaichev V.V. , Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Ivanova E.V. , Zamoryanskaya M.V. , Saraev A.A. , Pustovarov V.A. , Perevalov T.V. , Gritsenko V.A. Structure, Chemistry and Luminescence Properties of Dielectric LaxHf1-xOy Films Materials Chemistry and Physics. 2016. V.175. P.200-205. DOI: 10.1016/j.matchemphys.2016.03.019 WOS Scopus РИНЦ
3	Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. , Saraev A.A. Growth, Chemical Composition, and Structure of Thin LaxHf1-xOy films on Si Inorganic Materials. 2014. V.50. N2. P.158-164. DOI: 10.1134/S0020168514020162 WOS Scopus РИНЦ
4	Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Сараев А.А. Синтез, химический состав и структура тонких пленок LaxHf1–xOy/Si Неорганические материалы. 2014. Т.50. №2. С.175-182. DOI: 10.7868/S0002337X1402016X РИНЦ
5	Geng H. , Lin T. , Letha A.J. , Hwang H-L. , Kyznetsov F.A. , Smirnova T.P. , Saraev A.A. , Kaichev V.V. Advanced Passivation Techniques for Si Solar Cells with High-κ Dielectric Materials Applied Physics Letters. 2014. V.105. N12. P.123905. DOI: 10.1063/1.4896619 WOS Scopus РИНЦ
6	Kaichev V.V. , Ivanova E.V. , Zamoryanskaya M.V. , Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Gritsenko V.A. XPS and Cathodoluminescence Studies of HfO2, Sc2O3 and (HfO2)1-x(Sc2O3)x Films The European Physical Journal - Applied Physics. 2013. V.64. N1. P.10302-1-4. DOI: 10.1051/epjap/2013130005 WOS Scopus РИНЦ
7	Яковкина Л.В. , Смирнова Т.П. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. Синтез и свойства диэлектрических пленок (HfO2)1-x(Sc2O3)x Неорганические материалы. 2013. Т.49. №2. С.165-172. DOI: 10.7868/S0002337X12120147 РИНЦ
8	Yakovkina L.V. , Smirnova T.P. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. Synthesis and Properties of Dielectric (HfO2)1 − x (Sc2O3) x Films Inorganic Materials. 2013. V.49. N2. P.172-178. DOI: 10.1134/S0020168513020234 WOS Scopus РИНЦ
9	Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Кривенцов В.В. Структура пленок HfO2 и двойных оксидов на его основе Журнал структурной химии. 2012. Т.53. №4. С.718-724. RSCI РИНЦ
10	Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Borisov V.O. , Kichai V.N. , Kaichev V.V. , Kriventsov V.V. Structure of HfO2 Films and Binary Oxides on Its Base Journal of Structural Chemistry. 2012. V.53. N4. P.708-714. DOI: 10.1134/S0022476612040130 WOS Scopus РИНЦ
11	Каичев В.В. , Дубинин Ю.В. , Смирнова Т.П. , Лебедев М.С. Изучение структуры пленок (HfO2)x(Al2O3)1–x/Si методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии Журнал структурной химии. 2011. Т.52. №3. С.495-502. RSCI РИНЦ
12	Kaichev V.V. , Dubinin Y.V. , Smirnova T.P. , Lebedev M.S. A Study of the Structure of (HfO2 ) x (Al2 O3)1−x /Si Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy Journal of Structural Chemistry. 2011. V.52. N3. P.480-487. DOI: 10.1134/S002247661103005X WOS Scopus РИНЦ
13	Smirnova T.P. , Lebedev M.S. , Morozova N.B. , Semyannikov P.P. , Zherikova K.V. , Kaichev V.V. , Dubinin Y.V. MOCVD and Physicochemical Characterization of (HfO2)x(Al2O3)1-x Thin Films Chemical Vapor Deposition. 2010. V.16. N4-6. P.185-190. DOI: 10.1002/cvde.201006840 WOS Scopus РИНЦ
14	Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Beloshapkin S.A. , Kaichev V.V. , Alferova N.I. , Jeong-Hwan S. Interfaces Analysis of the HfO2/SiO2/Si Structure Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2010. V.71. N5. P.836-840. DOI: 10.1016/j.jpcs.2010.02.010 WOS Scopus РИНЦ
15	Smirnova T.P. , Kuznetsov F.A. , Yakovkina L. , Kaichev V. , Kosyakov V. , Lebedev M. , Kichai V. HfO2-High-k Dielectric for Nanoelectronics ECS Transactions. 2009. V.25. N8. P.875-880. DOI: 10.1149/1.3207680 WOS Scopus РИНЦ
16	Lebedev M.S. , Smirnova T.P. , Kaichev V.V. Thin Films of (HfO2)x(Al2O 3)1-x Alloys: Preparation, Chemical Structure and Dielectric Properties International Workshop and Tutorials on Electron Devices and Materials, EDM - Proceedings. 2009. P.32-36. DOI: 10.1109/EDM.2009.5173920 WOS Scopus РИНЦ
17	Rastorguev A.A. , Belyi V.I. , Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. Photoluminescence Study of the Electronic Structure of HfO2 Films Journal of Structural Chemistry. 2008. V.49. N1. P.21-30. DOI: 10.1007/s10947-008-0004-9 WOS Scopus РИНЦ
18	Расторгуев А.А. , Белый В.И. , Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. Исследование электронной структуры пленок HfO2 методом фотолюминесценции Журнал структурной химии. 2008. Т.49. №1. С.27-36. РИНЦ
19	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Bakhturova L.F. , Kaichev V.V. , Podgorbunskaya T.A. , Rakhlin V.I. Plasma-Chemical Deposition of SiCN Films from Volatile N-Bromhexamethyldisilazane Inorganic Materials. 2008. V.44. N12. P.1312-1318. DOI: 10.1134/S0020168508120091 WOS Scopus РИНЦ
20	Smirnova T.P. , Kaichev V.V. , Yakovkina L.V. , Kosyakov V.I. , Beloshapkin S.A. , Kuznetsov F.A. , Lebedev M.S. , Gritsenko V.A. Composition and Structure of Hafnia Films on Silicon Inorganic Materials. 2008. V.44. N9. P.965-970. DOI: 10.1134/S0020168508090124 WOS Scopus РИНЦ
21	Smirnova T.P. , Yakovkina L.V. , Kitchai V.N. , Kaichev V.V. , Shubin Y.V. , Morozova N.B. , Zherikova K.V. Chemical Vapor Deposition and Characterization of Hafnium Oxide Films Journal of Physics and Chemistry of Solids. 2008. V.69. N2-3. P.685-687. DOI: 10.1016/j.jpcs.2007.07.123 WOS Scopus РИНЦ
22	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Бахтурова Л.Ф. , Каичев В.В. , Подгорбунская Т.А. , Рахлин В.И. Плазмохимическое осаждение пленок SiCN из летучего N-бромгексаметилдисилазана Неорганические материалы. 2008. Т.44. №12. С.1453-1460. РИНЦ
23	Смирнова Т.П. , Каичев В.В. , Яковкина Л.В. , Косяков В.И. , Белошапкин С.А. , Кузнецов Ф.А. , Лебедев М.С. , Гриценко В.А. Состав и строение пленок оксида гафния на кремнии Неорганические материалы. 2008. Т.44. №9. С.1086-1092. РИНЦ
24	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Kaichev V.V. , Bakhturova L.F. , Kichai V.N. , Rakhlin V.I. , Shainyan B.A. Plasma Deposition and Properties of Silicon Carbonitride Films Inorganic Materials. 2005. V.41. N7. P.706-712. DOI: 10.1007/s10789-005-0195-9 WOS Scopus РИНЦ
25	Yakovkina L.V. , Kichai V.N. , Smirnova T.P. , Kaichev V.V. , Shubin Y.V. , Morozova N.B. , Zherikova K.V. , Igumenov I.K. Preparation and Properties of Thin HfO2 Films Inorganic Materials. 2005. V.41. N12. P.1300-1304. DOI: 10.1007/s10789-005-0305-8 WOS Scopus РИНЦ
26	Яковкина Л.В. , Кичай В.Н. , Смирнова Т.П. , Каичев В.В. , Шубин Ю.В. , Морозова Н.Б. , Жерикова К.В. , Игуменов И.К. Получение и свойства тонких пленок HfO2 Неорганические материалы. 2005. Т.41. №12. С.1474-1479. RSCI РИНЦ
27	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Каичев В.В. , Бахтурова Л.Ф. , Кичай В.Н. , Рахлин В.И. , Шаинян Б.А. Плазмохимический синтез и свойства пленок карбонитрида кремния Неорганические материалы. 2005. Т.41. №7. С.808-815. RSCI РИНЦ
28	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Каичев В.В. , Бахтурова Л.Ф. , Рахлин В.И. , Воронков М.Г. , Мирсков Р.Г. Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния Исследовано в России. 2004. Т.7. С.1607-1615. РИНЦ
29	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Шмаков А.Н. , Нартова А.В. , Рахлин В.И. , Фомина А.Н. Микроструктура и химическое связывание в пленках карбонитрида кремния, синтезированных методом плазмохимического осаждения из газовой фазы Журнал структурной химии. 2003. Т.44. №1. С.195-199. РИНЦ
30	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Yakovkina L.V. , Kaichev V.V. , Shmakov A.N. , Nartova A.V. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N. Microstructure and Chemical Bonding in Silicon Carbonitride Films Synthesized by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Journal of Structural Chemistry. 2003. V.44. N1. P.169-173. DOI: 10.1023/A:1024953518950 WOS Scopus РИНЦ
31	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Borisov V.O. , Yakovkina L.V. , Kaichev V.V. , Shmakov A.N. , Nartova A.V. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbonitride Films from Volatile Silyl Derivatives of 1,1-Dimethylhydrazine High Energy Chemistry. 2003. V.37. N5. P.303-309. DOI: 10.1023/A:1025700829352 WOS Scopus РИНЦ
32	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Yakovkina L.V. , Shmakov A.N. , Asanov I.P. , Borisov V.O. Composition and Structure of Films Deposited from Silyl Derivatives of Asymmetrical Dimethylhydrazine Inorganic Materials. 2003. V.39. N2. P.117-122. DOI: 10.1023/A:1022186310997 WOS Scopus РИНЦ
33	Smirnova T.P. , Badalian A.M. , Yakovkina L.V. , Kaichev V.V. , Bukhtiyarov V.I. , Shmakov A.N. , Asanov I.P. , Rachlin V.I. , Fomina A.N. SiCN Alloys Obtained by Remote Plasma Chemical Vapour Deposition from Novel Precursors Thin Solid Films. 2003. V.429. N1-2. P.144-151. DOI: 10.1016/S0040-6090(03)00408-5 WOS Scopus РИНЦ
34	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Борисов В.О. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Шмаков А.Н. , Нартова А.В. , Рахлин В.И. , Фомина А.Н. Плазмохимический газофазный процесс осаждения пленок карбонитрида кремния из летучих силильных производных несимметричного диметилгидразина Химия высоких энергий. 2003. Т.37. №5. С.348-354. РИНЦ
35	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Яковкина Л.В. , Шмаков А.Н. , Асанов И.П. , Борисов В.О. Состав и структура пленок, синтезированных из силильных производных несимметричного диметилгидразина Неорганические материалы. 2003. Т.39. №2. С.163-169. РИНЦ
36	Badalyan A.M. , Belyi V.I. , Gel'fond N.V. , Igumenov I.K. , Kosinova M.L. , Morozova N.B. , Rastorguev A.A. , Rumyantsev Y.M. , Smirnova T.P. , Fainer N.I. , Yakovkina L.V. Chemical Composition and Structure of Thin Films Produced by Chemical Vapor Deposition Journal of Structural Chemistry. 2002. V.43. N4. P.556-580. DOI: 10.1023/A:1022084017202 WOS Scopus РИНЦ
37	Smirnova T.P. , Badalyan A.M. , Yakovkina L.V. , Sysoeva N.P. , Asanov I.P. , Kaichev V.V. , Bukhtiyarov V.I. , Shmakov A.N. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N. Silicon Carbonitride Films as a Promising Material Synthesized from New Sources Chemistry for Sustainable Development. 2001. V.9. N7. P.23-29. РИНЦ
38	Смирнова Т.П. , Бадалян А.М. , Яковкина Л.В. , Сысоева Н.П. , Асанов И.П. , Каичев В.В. , Бухтияров В.И. , Шмаков А.Н. , Рахлин В.И. , Фомина А.Н. Пленки карбонитрида кремния - перспективный функциональный материал, синтезированный из новых источников Химия в интересах устойчивого развития. 2001. Т.9. №7. С.857-864. РИНЦ
39	Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Бадалян А.М. , Кичай В.Н. , Каичев В.В. , Бухтияров В.И. Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ
40	Smirnova T.P. , Jakovkina L.V. , Jashkin I.L. , Sysoeva N.P. , Amosov J.I. Boron Nitride Films Prepared by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition from Borazine (B3N3H6) Thin Solid Films. 1994. V.237. N1-2. P.32-37. DOI: 10.1016/0040-6090(94)90235-6 WOS Scopus РИНЦ

Главы монографий (1) Подробнее

Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Каичев В.В. , Лебедев М.С. , Кичай В.Н. , Борисов В.О. , Кривенцов В.В.
Разработка процессов получения двух- и трехкомпонентных оксидных пленок из β-дикетонатных комплексов металлов
Глава монографии Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники. – Изд-во СО РАН., 2013. – Т.37. – C.70-96. – ISBN 9785769212727.

Статьи в сборниках (1) Подробнее

Smirnova T.P. , Shmakov A.N. , Badalyan A.M. , Kaichev V.V. , Bukhtiyarov V.I. , Rakhlin V.I. , Fomina A.N.
Silicon Carbonitride Films as New Materials Obtained by Plasma Chemical Vapor Deposition from Novel Precursor
В сборнике Complex Mediums II: Beyond Linear Isotropic Dielectrics : International Symposium on Optical Science and Technology. 2001. – C.366-376. DOI: 10.1117/12.432950 WOS Scopus РИНЦ

Тезисы докладов (1) Подробнее

Кривенцов В.В. , Якимчук Е.П. , Новгородов Б.Н. , Зюзин Д.А. , Нечепуренко С.Ф. , Жерикова К.В. , Доровских С.И. , Морозова Н.Б. , Смирнова Т.П.
Применение метода XAFS спектроскопии для изучения состояния металлов в наноструктурированных MOCVD пленках
В сборнике I Всероссийская научная Интернет - конференция с международным участием «Спектрометрические методы анализа». – Индивидуальный предприниматель Синяев Дмитрий Николаевич., 2013. – C.49. – ISBN 9785906217219. РИНЦ

Книги (1) Подробнее

Гриценко В.А. , Елисеев А.П. , Иванов М.В. , Игуменов И.К. , Каичев В.В. , Карпушин А.А. , Морозова Н.Б. , Насыров К.А. , Некрашевич С.С. , Новиков Ю.Н. , Перевалов Т.В. , Пустоваров В.А. , Расторгуев А.А. , Смирнова Т.П. , Снытников В.Н. , Сорокин А.Н. , Стояновский В.О. , Шапошников А.В.
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Монография, Изд-во СО РАН. Новосибирск.2011. 158 c. ISBN 9785769211836 (Вып.31); 9785769206696.

Доклады на конференциях (2) Подробнее

Смирнова Т.П. , Яковкина Л.В. , Борисов В.О. , Кичай В.Н. , Волчок Н.Д. , Каичев В.В. , Сараев А.А.
Фазообразование в наноразмерных системах HfO2-RE2O3
Всероссийская научная конференция с международным участием «Второй Байкальский материаловедческий форум» 29 Jun - 5 Jul 2015

Кривенцов В.В. , Якимчук Е.П. , Новгородов Б.Н. , Зюзин Д.А. , Нечепуренко С.Ф. , Жерикова К.В. , Доровских С.И. , Морозова Н.Б. , Смирнова Т.П.
Применение метода XAFS спектроскопии для изучения состояния металлов в наноструктурированных MOCVD пленках
I Всероссийская научная Интернет - конференция с международным участием «Спектрометрические методы анализа» 26-26 Sep 2013