Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления Full article
Journal |
Оптика и спектроскопия
ISSN: 0030-4034 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2009, Volume: 106, Number: 1, Pages: 77-82 Pages count : 6 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические характеристики пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом реактивного ионно-лучевого распыления. Химический состав пленок определен с помощью рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС). Содержание азота в пленках оксинитридов, определяемое соотношением N2/O2 в газовой смеси при синтезе, достигало 9 ат. % для TiO(2x)Nx и 6 ат. % для HfO(2x)Nx. Обнаружено, что дисперсионные зависимости n( ) и k( ) в пленках TiO(2x)Nx при увеличении содержания азота от 0 до 9 ат. % изменяются от характерных для диоксида титана до характерных для нитрида титана. Оптические параметры пленок HfO(2x)Nx слабо зависят от содержания азота в диапазоне 0-6 ат. %.
Cite:
Атучин В.В.
, Кручинин В.Н.
, Калинкин А.В.
, Алиев В.Ш.
, Рыхлицкий С.В.
, Швец В.А.
, Спесивцев Е.В.
Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления
Оптика и спектроскопия. 2009. Т.106. №1. С.77-82. РИНЦ
Оптические свойства пленок HfO(2x)Nx и TiO(2x)Nx, полученных методом ионно-лучевого распыления
Оптика и спектроскопия. 2009. Т.106. №1. С.77-82. РИНЦ
Translated:
Atuchin V.V.
, Kruchinin V.N.
, Kalinkin A.V.
, Aliev V.S.
, Rykhlitskii S.V.
, Shvets V.A.
, Spesivtsev E.V.
Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering
Optics and Spectroscopy. 2009. V.106. N1. P.72-77. DOI: 10.1134/S0030400X09010093 WOS Scopus РИНЦ
Optical Properties of the HfO2 – xNx and TiO2 – xNx Films Prepared by Ion Beam Sputtering
Optics and Spectroscopy. 2009. V.106. N1. P.72-77. DOI: 10.1134/S0030400X09010093 WOS Scopus РИНЦ
Dates:
Submitted: | Dec 17, 2007 |
Accepted: | Aug 29, 2008 |
Identifiers:
Elibrary | 11663148 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 4 |