Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана Full article
Journal |
Химия в интересах устойчивого развития
ISSN: 0869-8538 |
||||
---|---|---|---|---|---|
Output data | Year: 2000, Volume: 8, Number: 5, Pages: 731-738 Pages count : 8 | ||||
Authors |
|
||||
Affiliations |
|
Abstract:
Рассмотрен экологически безопасный процесс плазмохимического осаждения тонких пленок карбонитрида кремния из нового соединения – диметил(2,2-диметилгидразино)силана (ДМДМГС), который является продуктом переработки ракетного топлива – несимметричного диметилгидразина (гептила). Изучены зависимости химического состава пленок от условий их синтеза. Продемонстрирована возможность управления характеристиками получаемых слоев изменением параметров процесса. Предложены механизмы плазмохимических и гетерофазных превращений ДМДМГС с образованием пленок карбонитрида кремния. Показано, что пленки представляют собой субстехиометричный SiNх, состоящий из неполного тетраэдра SiN, в котором часть азотных мест занята углеродом. При стабильных прочих параметрах процесса соотношение связей Si—N/Si—C в материале определяется температурой синтеза
Cite:
Смирнова Т.П.
, Яковкина Л.В.
, Бадалян А.М.
, Кичай В.Н.
, Каичев В.В.
, Бухтияров В.И.
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ
Плазмохимический синтез тонких пленок карбонитрида кремния из диметил(2,2-диметилгидразино)силана
Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т.8. №5. С.731-738. РИНЦ
Dates:
Submitted: | Apr 25, 2000 |
Identifiers:
Elibrary | 21265504 |
Chemical Abstracts | 2000:855850 |
Chemical Abstracts (print) | 134:104554 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 2 |