Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти Conference attendances
Language | Русский | ||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Participant type | Устный | ||||||||
Conference |
Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований» 05-09 Jun 2023 , Новосибирск |
||||||||
Authors |
|
||||||||
Affiliations |
|
Cite:
Володин В.А.
, Гриценко В.А.
, Камаев Г.Н.
, Черкова С.Г.
, Азаров И.А.
, Новиков Ю.Н.
, Гисматулин А.А.
, Просвирин И.П.
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований» 05-09 июн. 2023
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в матрицах резистивной памяти
Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам спектроскопии комбинационного рассеяния света «Комбинационное рассеяние - 95 лет исследований» 05-09 июн. 2023