Sciact
  • EN
  • RU

Режимы взаимодействия импульсного лазерного излучения с длиной волны 193 nm с α-фазой оксида алюминия Full article

Journal Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642
Output data Year: 2006, Volume: 76, Number: 4, Pages: 124-128 Pages count : 5
Authors Стояновский В.О. 1 , Снытников В.Н. 1 , Рудина Н.А. 1 , Пармон В.Н. 1
Affiliations
1 Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, 630090 Новосибирск, Россия

Funding (3)

1 Russian Foundation for Basic Research 02-03-33351
2 Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences 8.23
3 Council for Grants of the President of the Russian Federation НШ-1484.2003.2

Abstract: Экспериментально определены пороговые значения мощности лазерного излучения с длиной волны 193 nm и длительностью импульса 15 ns для основных режимов его взаимодействия с α-фазой оксида алюминия. Показано, что увеличение плотности мощности на мишени в диапазоне 0.001-100 MW/cm2 меняет при Q~0.1 однофотонный режим взаимодействия излучения с веществом на двухфотонный с переходом к сублимации при Q~5 и далее к режиму ионизации сублимированных продуктов при Q~15 MW/cm2. Установлено, что эффективность удаления вещества составляет ~10 nm за импульс при плотности мощности Q~100 MW/cm2.
Cite: Стояновский В.О. , Снытников В.Н. , Рудина Н.А. , Пармон В.Н.
Режимы взаимодействия импульсного лазерного излучения с длиной волны 193 nm с α-фазой оксида алюминия
Журнал технической физики. 2006. Т.76. №4. С.124-128. РИНЦ
Translated: Stoyanovsky V.O. , Snytnikov V.N. , Rudina N.A. , Parmon V.N.
Interaction Between 193-nm Pulsed Laser Radiation and α-Alumina
Technical Physics. 2006. V.51. N4. P.514-518. DOI: 10.1134/S1063784206040207 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex
Dates:
Submitted: Jan 25, 2005
Published print: Apr 1, 2006
Identifiers:
Elibrary: 20337174
Citing:
DB Citing
Elibrary 2