Режимы взаимодействия импульсного лазерного излучения с длиной волны 193 nm с α-фазой оксида алюминия Full article
Journal |
Журнал технической физики
ISSN: 0044-4642 |
||
---|---|---|---|
Output data | Year: 2006, Volume: 76, Number: 4, Pages: 124-128 Pages count : 5 | ||
Authors |
|
||
Affiliations |
|
Funding (3)
1 | Russian Foundation for Basic Research | 02-03-33351 |
2 | Siberian Branch of the Russian Academy of Sciences | 8.23 |
3 | Council for Grants of the President of the Russian Federation | НШ-1484.2003.2 |
Abstract:
Экспериментально определены пороговые значения мощности лазерного излучения с длиной волны 193 nm и длительностью импульса 15 ns для основных режимов его взаимодействия с α-фазой оксида алюминия. Показано, что увеличение плотности мощности на мишени в диапазоне 0.001-100 MW/cm2 меняет при Q~0.1 однофотонный режим взаимодействия излучения с веществом на двухфотонный с переходом к сублимации при Q~5 и далее к режиму ионизации сублимированных продуктов при Q~15 MW/cm2. Установлено, что эффективность удаления вещества составляет ~10 nm за импульс при плотности мощности Q~100 MW/cm2.
Cite:
Стояновский В.О.
, Снытников В.Н.
, Рудина Н.А.
, Пармон В.Н.
Режимы взаимодействия импульсного лазерного излучения с длиной волны 193 nm с α-фазой оксида алюминия
Журнал технической физики. 2006. Т.76. №4. С.124-128. РИНЦ
Режимы взаимодействия импульсного лазерного излучения с длиной волны 193 nm с α-фазой оксида алюминия
Журнал технической физики. 2006. Т.76. №4. С.124-128. РИНЦ
Translated:
Stoyanovsky V.O.
, Snytnikov V.N.
, Rudina N.A.
, Parmon V.N.
Interaction Between 193-nm Pulsed Laser Radiation and α-Alumina
Technical Physics. 2006. V.51. N4. P.514-518. DOI: 10.1134/S1063784206040207 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex
Interaction Between 193-nm Pulsed Laser Radiation and α-Alumina
Technical Physics. 2006. V.51. N4. P.514-518. DOI: 10.1134/S1063784206040207 WOS Scopus РИНЦ ANCAN OpenAlex
Dates:
Submitted: | Jan 25, 2005 |
Published print: | Apr 1, 2006 |
Identifiers:
Elibrary: | 20337174 |
Citing:
DB | Citing |
---|---|
Elibrary | 2 |